一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置，属于真空腔稳压技术领域，该一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置包括主体壳，所述主体壳底部开有导气室，且导气室一侧内壁开有进气口，所述进气口内壁通过密封条固定有进气通道，且导气室另一侧内壁开有出气口，出气口内壁通过密封条固定有出气通道，出气通道顶部外壁通过螺纹固定有压力表，所述主体壳靠近导气室上方的两侧内壁均开有安装槽，且两个安装槽相对一侧外壁均设置有同一个调压机构，主体壳正面外壁通过螺栓固定有安装板。本实用新型专利技术起到了对真空腔进行导气稳压的作用，也提高了真空腔稳压的效率，同时也让稳压工作更加直观和清晰，方便了对所需调压大小进行计量观察。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置
本技术属于真空腔稳压
，具体涉及一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置。
技术介绍
在现有技术中，镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。而磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。又因为是在低气压下进行高速溅射，这就需要对设备真空腔进行有效稳压。经过检索发现，在授权公告号为CN203513241U的中国专利中公开了一种全自动气体稳压装置，其特征在于包括：一进气管，进气管的一端与气源相通，另一端通过稳压阀与储罐的排气管道相通；一电磁阀，设置于进气管的进气口处；一检测器，其输入端通过管道与储罐相连，其输出端通过电线与电磁阀相连。但是上述技术方案整体机构在稳压工作上描述相对模糊，且在气体稳压上无法进行计量，因此还存在气体稳压质量差的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置，旨在解决现有技术中的气体稳压质量差的问题。为实现上述目的，本技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置，其特征在于：包括主体壳(2)，所述主体壳(2)底部开有导气室(12)，且导气室(12)一侧内壁开有进气口(9)，所述进气口(9)内壁通过密封条固定有进气通道(3)，且导气室(12)另一侧内壁开有出气口，出气口内壁通过密封条固定有出气通道(8)，出气通道(8)顶部外壁通过螺纹固定有压力表(7)，所述主体壳(2)靠近导气室(12)上方的两侧内壁均开有安装槽，且两个安装槽相对一侧外壁均设置有同一个调压机构，主体壳(2)正面外壁通过螺栓固定有安装板(1)。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置，其特征在于：包括主体壳(2)，所述主体壳(2)底部开有导气室(12)，且导气室(12)一侧内壁开有进气口(9)，所述进气口(9)内壁通过密封条固定有进气通道(3)，且导气室(12)另一侧内壁开有出气口，出气口内壁通过密封条固定有出气通道(8)，出气通道(8)顶部外壁通过螺纹固定有压力表(7)，所述主体壳(2)靠近导气室(12)上方的两侧内壁均开有安装槽，且两个安装槽相对一侧外壁均设置有同一个调压机构，主体壳(2)正面外壁通过螺栓固定有安装板(1)。


2.根据权利要求1所述的一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置，其特征在于：所述调压机构包括两个固定滑轨(10)、四个密封滑槽(13)、两个卡块(14)、L型调压芯(15)、复位弹簧(16)、连接板(17)、两个滑块(18)和连接轴(19)，且两个固定滑轨(10)相反一侧外壁均焊接于两个安装槽的内壁上，每两个密封滑槽(13)分别开于两个固定滑轨(10)的两侧内壁上，两个滑块(18)分别滑动连接于每两个密封滑槽(13)内，连接板(17)两端分别焊接于两个滑块(18)相对一侧外壁上，复位弹簧(16)顶端焊接于连接板(17)底部外壁上，L型调压芯(15)焊接于复位弹簧(16)底端外壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨海成，米县稳，
申请(专利权)人：东莞耀捷镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44