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本实用新型提供一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置，属于真空腔稳压技术领域，该一种靶材溅射镀膜真空腔稳压装置包括主体壳，所述主体壳底部开有导气室，且导气室一侧内壁开有进气口，所述进气口内壁通过密封条固定有进气通道，且导气室另一侧内壁开有出气口，出...
该专利属于东莞耀捷镀膜科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞耀捷镀膜科技有限公司授权不得商用。

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