一种工艺腔室制造技术

本发明专利技术公开了一种工艺腔室，用于柔性太阳能电池的柔性衬板镀膜，包括：腔室主体，具有围成一收容空间的顶壁、前侧壁、后侧壁、左侧壁、右侧壁、底壁，所述左侧壁开设有进料口、所述右侧壁开设有出料口；限位装置，所述顶壁和所述底壁中的至少一个壁设置有所述限位装置，所述限位装置限制所述柔性衬板上下移动。本发明专利技术通过在腔室中设置限位装置，限位装置限制传动过程中的柔性衬板上下移动，从而保证柔性衬板在传动过程中始终保持表面平整，防止柔性衬板在传动过程中因上下浮动导致柔性衬板上端翘曲和下端翘曲,而出现划伤或褶皱等不良问题，从而提升生产良率。

A process chamber

【技术实现步骤摘要】
一种工艺腔室
本专利技术属于太阳能电池加工设备
，具体地说，涉及一种工艺腔室。
技术介绍
现有技术中，真空镀膜设备已经广泛地应用在光伏发电领域，尤其对于柔性衬板的镀膜，连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机具有镀膜效率高、结构紧凑、占地空间小等优势。目前制备柔性太阳能电池所采用的连续环形真空镀膜设备所采用的柔性衬板传动系统，主要由进料口放卷驱动辊轴、位于真空腔室的传动辊轴、出料口驱动辊轴三部分构成。柔性衬板在各个辊轴处与辊轴接触，并被施加一定的张力，从而使得柔性基底能够尽量保持表面平整地在环形腔室内多次改变方向向前传动。现有的连续环形真空镀膜设备，柔性衬板仅依靠几根辊轴来传动，由于从进腔口到出腔口之间的距离过长，且柔性衬板在传动过程中，走的是环形路线，运动方向不断发生变化，导致柔性衬板在传动过程中容易上下浮动，在纵向上形成波浪形的翘曲，甚至形成褶皱。从而影响生产出的电池产品的性能，降低生产良率。有鉴于此特提出本专利技术。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种工艺腔室，柔性衬板在传动过程中始终保持表面平整，防止柔性衬板在传动过程中因上下浮动导致柔性衬板上端翘曲和下端翘曲,而出现划伤或褶皱等不良问题，从而提升生产良率。为解决上述技术问题，本专利技术采用技术方案的基本构思是：一种工艺腔室，用于柔性太阳能电池的柔性衬板镀膜，包括：腔室主体，具有围成一收容空间的顶壁、前侧壁、后侧壁、左侧壁、右侧壁、底壁，所述左侧壁开设有进料口、所述右侧壁开设有出料口；限位装置，所述顶壁和所述底壁中的至少一个壁设置有所述限位装置，所述限位装置限制所述柔性衬板上下移动。进一步的，所述限位装置包括：壳体，所述壳体与腔室主体连接；限位滚轮，横向可转动的设置在所述壳体上，所述限位滚轮外表面抵靠在所述柔性衬板的边缘。进一步的，所述限位滚轮的外表面周向设置凹槽。进一步的，所述限位装置还包括：夹送辊组，所述夹送辊组包括第一夹送辊和第二夹送辊，所述第一夹送辊和第二夹送辊均纵向可转动的设置在所述壳体上；所述第一夹送辊和所述第二夹送辊之间形成夹缝，所述夹缝供所述柔性衬板通过。进一步的，所述第一夹送辊和所述第二夹送辊之间的间距可调节。进一步的，所述壳体包括：第一壳体，呈“E”字型；第二壳体，呈“E”字型；所述第一壳体和所述第二壳体相对设置，之间形成“工”字型腔体；所述第一夹送辊设置第一壳体上，第二夹送辊设置第二壳体上，相对容置于所述“工”字型腔体的上腔；所述限位滚轮一端设置在所述第一壳体上，另一端设置在所述第二壳体上，所述限位滚轮容置于所述“工”字型腔体的下腔。进一步的，所述第一壳体设置有第一支撑部，所述第二壳体设置有第二支撑部，横向轴杆贯穿所述限位滚轮，所述横向轴杆一端与第一支撑部转动连接，另一端与第二支撑部转动连接。进一步的，所述限位滚轮设置为多个，沿着横向方向上一字间隔分布，多个所述限位滚轮外表面在同一个高度上。进一步的，所述夹送辊组设置为多个，沿着横向方向上一字间隔分布。进一步的，所述限位装置设置为两个，相对设置于所述顶壁和所述底壁。本专利技术通过在腔室中设置限位装置，限位装置限制传动过程中的柔性衬板上下移动，从而保证柔性衬板在传动过程中始终保持表面平整，防止柔性衬板在传动过程中因上下浮动导致柔性衬板上端翘曲和下端翘曲,而出现划伤或褶皱等不良问题，从而提升生产良率。下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步详细的描述。附图说明附图作为本专利技术的一部分，用来提供对本专利技术的进一步的理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，但不构成对本专利技术的不当限定。显然，下面描述中的附图仅仅是一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。在附图中：图1是本专利技术提供的一种工艺腔室整体结构示意图；图2是本专利技术提供的限位装置结构示意图；图3是本专利技术提供的限位装置右视结构示意图；图4是图3中的A—A向剖视图结构示意图。图中：1、顶壁；2、前侧壁；3、后侧壁；4、左侧壁；5、右侧壁；6、底壁；7、腔室主体；8、限位装置；9、壳体；91、第一壳体；92、第二壳体；10、第一夹送辊；11、第二夹送辊；12、限位滚轮；13、凹槽；14、出料口；15、进料口。需要说明的是，这些附图和文字描述并不旨在以任何方式限制本专利技术的构思范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本专利技术的概念。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。如图1至图4所示，本专利技术提供一种工艺腔室，该工艺腔室用于柔性太阳能电池的柔性衬板镀膜，工艺腔室包括腔室主体7和限位装置8。具体的，腔室主体7具有围成一收容空间的顶壁1、前侧壁2、后侧壁3、左侧壁4、右侧壁5、底壁6，左侧壁4开设有进料口15、右侧壁5开设有出料口14，限位装置8的顶壁1和底壁6中的至少一个壁设置有限位装置8，进一步的，限位装置8可以设置在腔室主体7的顶壁1，也可以设置在腔室主体7的底壁6，还可以在腔室主体7的顶壁1和腔室主体7的底壁6均设置限位装置8。当柔性衬板由进料口15进入在工艺腔室中传动至出料口14的过程中，限位装置8在腔室中限制柔性衬板上下移动。防止柔性衬板在传动过程中上下移动，从而保证柔性衬板在传动过程中始终保持表面平整，防止柔性衬板在传动过程中因上下移动导致柔性衬板上端翘曲和下端翘曲,而出现划伤或褶皱等不良问题，从而提升生产良率。进一步的，限位装置8包括壳体9和限位滚轮12，壳体9与腔室主体7连接，壳体9与腔室可以是一体成型，也可以通过现有的机械连接方式连接，在此不在限定。限位滚轮12沿着横向方向上可转动的设置在壳体9上，限位滚轮12外表面抵靠在柔性衬板的边缘。柔性衬板在传动过程中会出现向上或者是向下的移动的趋势时，由于限位滚轮12外表面抵靠在柔性衬板的边缘，限位滚轮12会给柔性衬板一个阻挡的作用力，从而限制柔性衬板在传动过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工艺腔室，用于柔性太阳能电池的柔性衬板镀膜，其特征在于：包括：/n腔室主体，具有围成一收容空间的顶壁、前侧壁、后侧壁、左侧壁、右侧壁、底壁，所述左侧壁开设有进料口、所述右侧壁开设有出料口；/n限位装置，所述顶壁和所述底壁中的至少一个壁设置有所述限位装置，所述限位装置限制所述柔性衬板上下移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种工艺腔室，用于柔性太阳能电池的柔性衬板镀膜，其特征在于：包括：
腔室主体，具有围成一收容空间的顶壁、前侧壁、后侧壁、左侧壁、右侧壁、底壁，所述左侧壁开设有进料口、所述右侧壁开设有出料口；
限位装置，所述顶壁和所述底壁中的至少一个壁设置有所述限位装置，所述限位装置限制所述柔性衬板上下移动。


2.根据权利要求1所述的工艺腔室，其特征在于：所述限位装置包括：
壳体，所述壳体与腔室主体连接；
限位滚轮，横向可转动的设置在所述壳体上，所述限位滚轮外表面抵靠在所述柔性衬板的边缘。


3.根据权利要求2所述的工艺腔室，其特征在于：所述限位滚轮的外表面周向设置凹槽。


4.根据权利要求2所述的工艺腔室，其特征在于：所述限位装置还包括：
夹送辊组，所述夹送辊组包括第一夹送辊和第二夹送辊，所述第一夹送辊和第二夹送辊均纵向可转动的设置在所述壳体上；
所述第一夹送辊和所述第二夹送辊之间形成夹缝，所述夹缝供所述柔性衬板通过。


5.根据权利要求4所述的工艺腔室，其特征在于：所述第一夹送辊和所述第二夹送辊之间的间距可调节。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：李冲，吴琼，孙红霞，
申请(专利权)人：领凡新能源科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11