一种防止金属污染的HF-PECVD法制石墨烯装置制造方法及图纸

一种防止金属污染的HF‑PECVD法制石墨烯装置，包括机体以及设置于所述机体中的热丝管，所述热丝管中设有两个电极块，所述电极块之间连接有钨丝，所述热丝管左端设有与外界连通的进气口,所述机体中设有位于所述热丝管右侧的石墨烯腔，所述热丝管右端和所述石墨烯腔相连通，所述石墨烯腔右壁上设有与外界连通的出口，所述机体中设有位于所述石墨烯腔右侧的处理腔，所述处理腔左端设有与外界连通的入口，本装置可以自动除去沉淀石墨烯时产生的金属污染，并通过碘将污染变为碘化钨最后重新分解为钨并附着在钨丝上，同时本装置可以根据钨丝变化的重量从而加入不同量的碘蒸汽对污染物进行处理。

【技术实现步骤摘要】
一种防止金属污染的HF-PECVD法制石墨烯装置
本专利技术涉及新材料加工
，具体一种防止金属污染的HF-PECVD法制石墨烯装置。
技术介绍
HF-PECVD法利用热丝(钽丝或者钨丝)产生的高温(2000℃以上)来激发等离子体在金属衬底(铜箔或者镍箔为主)上沉积石墨烯，其优点是样品的均匀性可以调节，但是由于钽丝或者钨丝在高温作用下会带来金属污染，通常不能得到质量高的石墨烯，而钨丝不断的被消耗无法重复使用，针对上述问题，本专利技术进行了改进。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种防止金属污染的HF-PECVD法制石墨烯装置，克服了上述的问题。本专利技术是通过以下技术方案来实现的。本专利技术的一种防止金属污染的HF-PECVD法制石墨烯装置，包括机体以及设置于所述机体中的热丝管，所述热丝管中设有两个电极块，所述电极块之间连接有钨丝，所述热丝管左端设有与外界连通的进气口,所述机体中设有位于所述热丝管右侧的石墨烯腔，所述热丝管右端和所述石墨烯腔相连通，所述石墨烯腔右壁上设有与外界连通的出口，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防止金属污染的HF-PECVD法制石墨烯装置，包括机体以及设置于所述机体中的热丝管，其特征在于：所述热丝管中设有两个电极块，所述电极块之间连接有钨丝，所述热丝管左端设有与外界连通的进气口,所述机体中设有位于所述热丝管右侧的石墨烯腔，所述热丝管右端和所述石墨烯腔相连通，所述石墨烯腔右壁上设有与外界连通的出口，所述机体中设有位于所述石墨烯腔右侧的处理腔，所述处理腔左端设有与外界连通的入口，所述石墨烯腔中设有右端延伸至所述处理腔中第一滑槽，所述第一滑槽上滑动设有加热板，所述加热板上设有金属衬底，所述机体中设有位于所述处理腔右侧的传动腔，所述传动腔中设有开门机构，所述开门机构可以控制所述出口和...

【技术特征摘要】
1.一种防止金属污染的HF-PECVD法制石墨烯装置，包括机体以及设置于所述机体中的热丝管，其特征在于：所述热丝管中设有两个电极块，所述电极块之间连接有钨丝，所述热丝管左端设有与外界连通的进气口,所述机体中设有位于所述热丝管右侧的石墨烯腔，所述热丝管右端和所述石墨烯腔相连通，所述石墨烯腔右壁上设有与外界连通的出口，所述机体中设有位于所述石墨烯腔右侧的处理腔，所述处理腔左端设有与外界连通的入口，所述石墨烯腔中设有右端延伸至所述处理腔中第一滑槽，所述第一滑槽上滑动设有加热板，所述加热板上设有金属衬底，所述机体中设有位于所述处理腔右侧的传动腔，所述传动腔中设有开门机构，所述开门机构可以控制所述出口和所述入口的开关，所述传动腔右壁上设有电机，所述电机轴左端动力连接有电机轴，所述电机轴上固定设有第一齿轮，所述传动腔中设有夹取机构，所述夹取机构可以夹取金属衬底并将其运到所述处理腔中，所述传动腔中转动设有齿轮轴，所述齿轮轴上固定设有和所述第一齿轮啮合的第二齿轮，所述齿轮轴上固定设有第三齿轮，所述齿轮轴上固定设有第一锥齿轮，所述传动腔中转动设有线轮轴，所述线轮轴上固定设有和所述第三齿轮啮合的第四齿轮，所述线轮轴上固定设有第一线轮，所述机体中设有位于所述热丝管上侧的回收腔，所述回收腔和所述处理腔之间通过碘化钨管连通，所述回收腔底壁上设有第一滑槽，所述第一滑槽上滑动设有第一磁铁，所述第一磁铁和所述第一线轮之间连接有第一拉线，所述第一磁铁和所述回收腔上壁之间连接有第一弹簧，所述回收腔中设有挤压管，所述挤压管中设有固定板，所述固定板和所述挤压管上端连接有第二弹簧，所述固定板下端设有第二磁铁，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘柏祥，
申请(专利权)人：龙游讴凡纳米材料有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33