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一种防止金属污染的HF‑PECVD法制石墨烯装置，包括机体以及设置于所述机体中的热丝管，所述热丝管中设有两个电极块，所述电极块之间连接有钨丝，所述热丝管左端设有与外界连通的进气口,所述机体中设有位于所述热丝管右侧的石墨烯腔，所述热丝管右端和...
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