一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备制造技术

一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备，设有等离子体除残留胶腔室,前段为高压辉光放电刻蚀除残胶段，后段为柱状弧光电子源刻蚀段，腔室侧面开了两窗口、一侧设有轨道；高压辉光放电刻蚀除残胶装置组件，包括离子清除残胶高压棒组件和第一移动小车，小车行走在轨道上、上面设有由立面板和框架组成的密封门托架，立面板上固定着伸向窗口的槽型支承抽屉；离子清除残胶高压棒组件固定在立面板上；柱状弧光电子源刻蚀装置组件，包括柱状弧光电子源和第二移动小车组件；柱状弧光电子源固定在立面板上；通过移动小车在垂直于机架的轨道上的来回行走，使得离子清除残胶高压棒组件和柱状弧光电子源可推入或拉出腔室。本实用新型专利技术除胶效果良好。

【技术实现步骤摘要】
一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备
本技术涉及一种真空镀膜设备，尤其涉及一种采用平面矩形阴极电弧源沉积的金属箔带卷绕式真空镀膜设备。
技术介绍
PVD技术经过多年发展，卷绕式真空镀膜设备近年发展较快，卷绕式真空镀膜应用也较多。在早期卷绕式真空镀膜设备主要用于整卷塑胶薄膜真空镀铝膜，多用在包装领域。经过不断的技术进步，卷绕式真空镀膜己推广应用到SiO2、ITO膜、介质膜等生产。卷绕式镀膜是一种高速度、高效率的连续镀膜生产方式，成吨重整卷塑胶薄膜从一头放卷至另一头收卷，薄膜以每分钟数十米的走带速度，经过镀膜区完成镀膜。例如镀铝膜时，会采用与薄膜带同宽的一排石墨发热舟，通电让石墨舟发热，同时连续向发热的石墨舟内送铝丝，通过高温蒸发铝沉积在上方的高速运动的胶塑带上成膜；为防止胶带受热变形，要让胶带贴在冷冻的旋转辊上，一边输送一边镀膜。卷绕式快速镀膜的技术难点：高速镀膜同时保证膜层均匀性，保证高速走带纵向拉力均匀，胶带不起皱，同时保证胶带左右不走偏。卷绕式镀膜另一发展方向是要求在金属箔带上镀膜，包括镀铜膜、反应镀各种彩色介质装饰膜等。这是多年本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备，包括依次前后真空连接的放卷舱(1)、加热舱(10)、离子轰击刻蚀舱(14a)、镀膜舱(14b)、冷却与箔带张力调整舱(15)和收卷舱(19)，其特征是：在所述放卷舱(1)与加热舱(10)之间，设有真空离子除残胶舱(9)，其包括：/n等离子体除残留胶腔室,为扁形箱体，支承在一等离子体清除残胶腔室机架(24)上，腔室分为前后两段，前段为高压辉光放电刻蚀除残胶段，后段为柱状弧光电子源刻蚀段，腔室的一侧面对应开了前后两个窗口，对应于两个窗口的机架一侧，各设有垂直于机架的轨道；/n高压辉光放电刻蚀除残胶装置组件(I)，包括离子清除残胶高压棒组件和第一移动小车组件，所述...

【技术特征摘要】
1.一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备，包括依次前后真空连接的放卷舱(1)、加热舱(10)、离子轰击刻蚀舱(14a)、镀膜舱(14b)、冷却与箔带张力调整舱(15)和收卷舱(19)，其特征是：在所述放卷舱(1)与加热舱(10)之间，设有真空离子除残胶舱(9)，其包括：
等离子体除残留胶腔室,为扁形箱体，支承在一等离子体清除残胶腔室机架(24)上，腔室分为前后两段，前段为高压辉光放电刻蚀除残胶段，后段为柱状弧光电子源刻蚀段，腔室的一侧面对应开了前后两个窗口，对应于两个窗口的机架一侧，各设有垂直于机架的轨道；
高压辉光放电刻蚀除残胶装置组件(I)，包括离子清除残胶高压棒组件和第一移动小车组件，所述第一移动小车组件又包括：移动小车(40)、密封门托架(41)和支承抽屉盒(41-0)，移动小车(40)的底部安装有滑轮组件行走在所述垂直于机架的轨道上、上面设有由框架和平行于等离子体除残留胶腔室的前段的侧面窗口的立面板组成的密封门托架(41)，立面板朝向窗口方向的面为密封面，与窗口的窗框对应密封设计，立面板上固定着伸向窗口的槽型的支承抽屉盒(41-0)；包括等离子体清除残胶高压棒(42)的离子清除残胶高压棒组件固定在立面板上且位于支承抽屉盒内；
柱状弧光电子源刻蚀装置组件(Ⅱ)，包括柱状弧光电子源和与第一移动小车组件相同的第二移动小车组件；包括旋转柱状阴极电弧靶体(67)的柱状弧光电子源固定在立面板上且位于支承抽屉盒内；
各自移动小车在垂直于机架的轨道上的来回行走，应使得各自安装在移动小车组件上的等离子体清除残胶高压棒(42)和旋转柱状阴极电弧靶体(67)从对应的窗口分别推入或拉出等离子体除残留胶腔室。


2.根据权利要求1所述的金属箔带卷绕式真空镀膜设备，其特征是：所述的移动小车(40)与其上面的密封门托架(41)通过一连接滑动头组件连接，连接滑动头组件结构为：在移动小车(40)的底板竖孔中、从下往上穿入一带凸肩的小车连接头(66)，并用连接件将它们固连在一起，小车连接头的上端穿入密封门托架的底板的竖孔中，并套在带凸环的小车连接头隔套(64)内，设有小车连接头挡圈(63)卡在密封门托架底板竖孔上，并以连接件把小车连接头挡圈(63)与小车连接头固定在一起；所述密封门托架的竖孔或移动小车的竖孔其中一为长条孔槽。


3.根据权利要求2所述的金属箔带卷绕式真空镀膜设备，其特征是：所述的离子清除残胶高压棒组件包括等离子体清除残胶高压棒(42)、高压棒绝缘座(43)、高压棒封板(44)和高压棒密封引入接头(Ⅰ-Ⅰ)；等离子体清除残胶高压棒(42)的右端通过高压棒密封引入接头(Ⅰ-Ⅰ)穿过所述密封门托架(41)的立面板并实现密封固连后外接高压棒专用电源的负极，专用电源正极接地；等离子体清除残胶高压棒(42)的左端有高压棒封板(44)，固定在所述支承抽屉盒(41-0)内的高压棒绝缘座(43)支承着高压棒(42)的尾部；当支承抽屉盒(41-0)被推进腔室内时，高压棒(42)沿箔带宽度方向延伸并位于向前输送的箔带下方。


4.根据权利要求3所述的金属箔带卷绕式真空镀膜设备，其特征是：所述的高压棒密封引入接头(Ⅰ-Ⅰ)结构包括引线轴(45)、引线绝缘座、屏蔽罩和连接密封件；引线轴(45)是一只下端大上端细的台阶式轴，下端最前段有粗螺纹用与高压棒(42)螺纹连接，下端之后为一凸肩，凸肩之后为细直径圆轴，最后的上端头处有螺纹；引线绝缘座是一端带凸环的套筒绝缘体，它穿入密封门托架(41)的立面板上的水平孔并用连接件固连，且用密封件实现外端面密封；所述引线轴(45)的上端细轴从引线绝缘座通孔下端向上穿入，在引线绝缘座凸环上端面处套入垫圈后用连接件固定，引线轴的下凸肩上端面抵住引线绝缘座的下端面并用密封件实现内表面密封；一衬板螺母焊接在密封门托架(41)的立面板的背面，再用连接件把屏蔽罩固定在衬板螺母上，外接电源的负极引线端子连接在引线轴(45)的上端细轴端头上。


5.根据权利要求2所述的金属箔带卷绕式真空镀膜设备，其特征是：所述的柱状弧光电子源包括：旋转柱状阴极电弧靶体...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，冯晓庭，魏艳玲，周锐，刘江江，邓石新，黄雄，
申请(专利权)人：广东汇成真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44