【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及到一种微型机械装置，例如是采用地震震动质量作为传感元件的加速度传感器，角速度传感器，倾斜传感器或者是角加速度传感器。目前已知有许多具有微型机械结构的装置。伴随许多此类结构的一个问题是制造这种装置时会在结构中产生内部应力，并且影响到用来测量传感器敏感参数的元件。这种应力的产生会造成问题。它往往会导致传感器随着温度或是传感器的检测范围出现不可预测的偏差或变化。这使得每个传感器需要单独测试，并且需要具有适当的机械或电气补偿装置才能使传感器能够准确和一致地工作。这样做会明显地增加传感器的成本，并且会降低可靠性。为了克服引发的应力所带来的问题已经采取了许多尝试。然而，大多数方案取决于在装置的元件或装置的外壳封装中采用特殊的材料，这些材料不易弯曲，并且不能广泛地应用于不同类型的装置。许多材料还具有其他问题，诸如需要极为复杂和昂贵的制造步骤，因而会更进一步增加成本和耗费时间，并且会造成许多次品。按照本专利技术所提供的微型机械装置，包括一个基座部件，它在使用中连接到一个支撑壁上并且在使用中粘接在一个包装部件上；并且基座部件具有设在其外圆周的至少一部分周围的肋，...
【技术保护点】
一种微型机械装置，包括： 用半导体晶片构成并且连接到由同一晶片构成的一个支撑壁上的基座部件，以及与基座部件接合的一个包装部件；以及 基座部件有一个包围其外周边的至少一部分的肋，这个肋从包装部件向外延伸，并且支撑着装置的至少一个检测元件；以及 上述基座部件是细长的，其较长的尺寸在与其连接的支撑壁大体垂直的方向上延伸。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：D拉帕达图，T克维斯特罗伊，H亚科布森，
申请(专利权)人：森桑诺尔有限公司，
类型：发明
国别省市：NO[挪威]
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