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微型机械传感器的应力释放组件的一种基座部件及其制造方法，特别是加速度传感器，角速度传感器，倾斜传感器和角加速度传感器。采用至少一个硅地震震动质量作为传感元件。通过至少一个装配基座将至少一个硅地震震动质量与硅框架接合，基座的表面接合到一个玻璃...
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