流量传感器制造技术

流量传感器（１）包括：基板（４），它有侧向面对测量目标流体（２）所用通道（３）的前表面（４ａ），以及通道形成部件（５）和平板（６），它们在基板（４）两侧相对设置。用厚度约为５０μｍ到１５０μｍ的不锈钢将基板（４）制成薄板状。在基板（４）的表面（４ｂ）上形成电绝缘膜，所述基板与通道（３）侧向相对。所述电绝缘膜上形成测量流体（２）的流速（流率）用的温度检测传感器（７）、环境温度传感器（８）、电极垫片（９）和配线用的金属薄膜（１０）。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及流量传感器，用于测量通道中流动之流体的流速(flowvelocity)或流率(flow rate)，具体地说，涉及一种热流传感器。按照惯例，这类流速传感器主要用于无腐蚀气体，近来又开发出可用于液体或腐蚀气体的流速传感器。例如，公知的有日本专利未审公开特开平4-295724(现有技术1)公开的流率传感器。还有日本专利未审公开特开平8-146026(现有技术2)公开的热敏电阻流速传感器和液体流率传感器也被公知。按照现有技术1所述的流率传感器，在硅基板的第一表面上形成第一、第二和第三区域。第一区上形成发热体，而在第二区上形成温度计构成部分。第一和第二区是绝缘的，由通过氧化所述第三区所得的多孔硅区彼此分隔开。与第一表面相对一侧上的第二表面用作接受流体流的表面。将一硅的帽盖固定在第一表面上，以增强硅基板的刚性，并保护随时发热体及温度计构成部分。按照现有技术2所述的流速/流率传感器，在由氧化铝、SiO2等制成之板状基板的一个表面上形成发热体和它的电极。该发热体覆盖着绝缘体。该绝缘体上形成热敏电阻，用以测量发热体及其电极的温度。用黏合剂将基板的另一表面固定于封盖(容器)的内表面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流量传感器，其特征在于，包括：薄板状的基板，它形成部分流体通道；以及形成于所述基板表面上的温度检测传感器，它与所述通道相对并包含发热体。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：上运天昭司，石仓义之，池信一，衣笠静一郎，田中秀一，
申请(专利权)人：株式会社山武，
类型：发明
国别省市：JP[日本]