微小型中红外光波导气体传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种微小型中红外光波导气体传感器，包括气室、入气孔、排气孔、进光孔、出光孔以及光波导；入气孔和排气孔均设置于气室顶端，进光孔和出光孔分别设置于气室相对的两个侧壁上，光波导包括基底和芯层，基底设置于气室底端，芯层设置于基底上并采用分段式结构，进光孔、芯层以及出光孔位于同一直线上。本发明专利技术采用分段式光波导结构，并以硫系玻璃作为光波导芯层材料，性能稳定，灵敏度高，体积小，易于集成化、规模化，抗电磁干扰能力强，具有很强的实际应用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于传感器
，具体涉及一种微小型中红外光波导气体传感器的设计。
技术介绍
随着我国工业化进程的推进和人民生活水平的提高，工业废气、汽车尾气等的超标排放，严重污染了地球的大气环境，温室效应、酸雨、臭氧层破坏、灰霾和光化学烟雾等大气污染问题频发，大气环境的破坏直接影响着人类的生存和发展，大气环境形势日趋严峻。因此，对大气环境进行监测的具有重大的意义。传统的环境监测方法存在成本高、效率低等问题。现阶段气体传感器检测系统过于庞大，灵敏度相对不高，不易于集成化，由于光波导本身其具有的高抗电磁干扰、高灵敏度等优点，因而是提高气体传感器灵敏度，实现集成化的重要技术方案。随着光学材料、激光技术的发展，光波导技术的应用成本的也会不断的降低，光波导技术将凭借其传感时不受外界电磁场的干扰、稳定性好、灵敏度高、不受光源光功率波动的影响等优点，在大气环境监测、室内环境监测有着广泛应用前景。在气体传感中，光波导传感器扮演越来越重要的角色，其具有普通传感器无法比拟的灵敏度高，体积小，抗电磁干扰本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微小型中红外光波导气体传感器，其特征在于，包括气室(1)、入气孔(2)、排气孔(3)、进光孔(4)、出光孔(5)以及光波导；所述入气孔(2)和排气孔(3)均设置于气室(1)顶端；所述进光孔(4)和出光孔(5)分别设置于气室(1)相对的两个侧壁上；所述光波导包括基底(6)和芯层(7)，所述基底(6)设置于气室(1)底端，所述芯层(7)设置于基底(6)上并采用分段式结构；所述进光孔(4)、芯层(7)以及出光孔(5)位于同一直线上。

【技术特征摘要】
1.一种微小型中红外光波导气体传感器，其特征在于，包括气室(1)、入气孔(2)、
排气孔(3)、进光孔(4)、出光孔(5)以及光波导；所述入气孔(2)和排气孔(3)均设
置于气室(1)顶端；所述进光孔(4)和出光孔(5)分别设置于气室(1)相对的两个侧
壁上；所述光波导包括基底(6)和芯层(7)，所述基底(6)设置于气室(1)底端，所述
芯层(7)设置于基底(6)上并采用分段式结构；所述进光...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玲芳，杨兰，孙豹，陈开鑫，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川;51