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流量传感器（１）包括：基板（４），它有侧向面对测量目标流体（２）所用通道（３）的前表面（４ａ），以及通道形成部件（５）和平板（６），它们在基板（４）两侧相对设置。用厚度约为５０μｍ到１５０μｍ的不锈钢将基板（４）制成薄板状。在基板（４）的表...
该专利属于株式会社山武所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社山武授权不得商用。

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