电镀液在线回收方法技术

本发明专利技术公开了一种电镀液在线回收方法，其包括以下步骤：电镀环节：对晶圆进行电镀；回收环节：使晶圆表面的电镀液脱离晶圆；再利用环节：将脱离晶圆的电镀液输送至电镀池内。该电镀液在线回收方法，将电镀后位于晶圆表面的残余电镀液收集并输送至电镀池中，以替代传统离线回收方法中，通过收集清洗液并进行离线提纯的回收方式。本方法无需进行离线提纯的步骤，因此能够有效解决现有技术中对晶圆上的电镀液进行回收的步骤繁琐、设备复杂等缺陷。

【技术实现步骤摘要】
电镀液在线回收方法
本专利技术涉及晶圆电镀领域，特别涉及一种电镀液在线回收方法。
技术介绍
目前，关于有价金属的电镀液及添加剂回收方法，通常为离线回收，且回收方法流程繁琐，成本较高。具体来说，当晶圆完成电镀后，会被移至清洗槽中，通过清洗槽中的水流对晶圆进行清洗，将晶圆上的电镀液及添加剂集中在清洗液中，之后，在收集这些清洗液后，通过常见的物理方法，例如浓缩、过滤、渗析、树脂分离、离心、超滤等等，或者化学方法，例如沉淀和分离等方式将清洗液中的电镀液及添加剂分离出来，实现回收的目的。通过离线回收的方式对电镀液等进行收集并回收的步骤繁琐、设备复杂，如何更好、更简单地对电镀液回收利用成为了研发人员的研究重点。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是为了克服现有技术中对晶圆上的电镀液进行回收的步骤繁琐、设备复杂的缺陷，提供一种电镀液在线回收方法。本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题：一种电镀液在线回收方法，其包括以下步骤：电镀环节：对晶圆进行电镀；回收环节：使晶圆表面的电镀液脱离晶圆；再利用环节：将脱离晶圆的电镀液输送至电镀池内。该电镀液在线回收方法，将电镀后位于晶圆表面的残余电镀液收集并输送至电镀池中，以替代传统离线回收方法中，通过收集清洗液并进行离线提纯的回收方式。本方法无需进行离线提纯的步骤，因此能够有效解决现有技术中对晶圆上的电镀液进行回收的步骤繁琐、设备复杂等缺陷。较佳地，在所述电镀环节中，在完成对晶圆进行电镀后，将晶圆移至回收槽中；在所述再利用环节中，在回收槽中收集脱离晶圆的电镀液后，再输送至电镀池内。通过将电镀后的晶圆移至相对独立的回收槽中，以方便实施使电镀液脱离晶圆表面的工艺，同时，电镀液也更方便集中和收集。较佳地，在所述电镀环节中，在完成对晶圆进行电镀后，晶圆夹具带动晶圆离开电镀池，并移动至回收槽中。通过将参与电镀环节的晶圆夹具也一同移动至回收槽中，以便于回收环节的实施，简化晶圆在各夹具之间交接产生的问题。同时，将参与电镀环节的晶圆夹具也移至回收槽，使得附着于晶圆夹具表面的电镀液也同样能够被回收。较佳地，回收槽中具有回收池，回收池用于容纳回收液，在所述回收环节中，将晶圆浸没于回收池的回收液中。通过将晶圆浸没在回收池中，使电镀液脱离晶圆，实现回收金属离子的目的。较佳地，回收槽还具有储液池；在所述再利用环节中，将具有电镀液的回收液通过管道输送至储液池中，再通过管道输送至电镀池内。通过设置储液池的方式，在无需将具有电镀液的回收液输送至电镀池时提供一个临时储存液体的空间。较佳地，在所述再利用环节中，基于储液池内的液位高度控制从储液池输送至电镀池的液体流量。通过向电镀池输送具有电镀液的回收液，以同时实现补充金属离子以及补充其他介质的目的。较佳地，在所述电镀环节中，在完成对晶圆进行电镀后，将晶圆移动至电镀池的上方；在所述再利用环节中，脱离晶圆的电镀液直接流入电镀池中。该结构设置提供了一种较为简便的电镀液在线回收的布局方案。较佳地，在所述回收环节中，对晶圆表面进行喷淋，使晶圆表面的电镀液脱离晶圆，以高效地使附着于晶圆表面的电镀液脱离。较佳地，在所述回收环节中，晶圆夹具带动晶圆沿晶圆的中心旋转。该结构设置提供了一种较为简便地，能够提高电镀液回收率的方案。较佳地，在所述回收环节后还包括清洗环节：将晶圆移至清洗槽内进行清洗，保证晶圆表面的洁净度。本专利技术的积极进步效果在于：该电镀液在线回收方法，将电镀后位于晶圆表面的残余电镀液收集并输送至电镀池中，以替代传统离线回收方法中，通过收集清洗液并进行离线提纯的回收方式。本方法无需进行离线提纯的步骤，因此能够有效解决现有技术中对晶圆上的电镀液进行回收的步骤繁琐、设备复杂等缺陷。附图说明图1为本专利技术的实施例1的电镀液在线回收方法的流程示意图。图2为本专利技术的实施例2的晶圆移动机构的结构示意图。图3为本专利技术的实施例2的晶圆电镀设备的结构布局示意图。图4为本专利技术的实施例2的晶圆移动机构的状态示意图。图5为本专利技术的实施例2的回收槽的回收池的结构示意图。图6为本专利技术的实施例2的电镀液在线回收方法的流程示意图。图7为本专利技术的实施例2的回收槽的整体结构示意图。附图标记说明：晶圆移动机构1机械手11，移动机构模块111晶圆夹具12，晶圆安装面12a电镀槽2电镀池21回收槽3回收池31储液池32清洗槽4晶圆200具体实施方式下面通过实施例的方式进一步说明本专利技术，但并不因此将本专利技术限制在所述的实施例范围之中。实施例1如图1所示，本专利技术提供一种电镀液在线回收方法，其具体包括有以下几个步骤：电镀环节，将晶圆浸没在电镀槽中的电镀池中，以对晶圆实施电镀工艺。在完成电镀后，晶圆表面残余有电镀液及其他添加剂。回收环节，使晶圆表面的电镀液及其他添加剂脱离晶圆。再利用环节，将从晶圆表面脱离的电镀液和添加剂再输送至电镀池内。该电镀液在线回收方法，通过使完成电镀之后的晶圆表面的电镀液脱离、并在将这些脱离的电镀液收集之后直接再输送回电镀池内，以提供一种能够在线回收电镀液的方法。相较于现有技术中，通过清洗晶圆的方式使电镀液及其他添加剂脱离于晶圆并聚集在清洗液中，再利用物理或化学手段从清洗液中将电镀液及添加剂提纯出来，本方案中的电镀液在线回收方法，无需设置额外的离线提纯相关设备，且分离步骤中也不存在离线提纯的步骤，因此能够有效解决现有技术中对晶圆上的电镀液进行回收的步骤繁琐、设备复杂等缺陷。其中，在本方案的回收环节中，如何使附着在晶圆表面的电镀液脱离晶圆，可采用喷嘴对准晶圆表面喷射气体或液体的方式来实现，有或者可以通过旋转晶圆，利用离心力使电镀液脱离晶圆。这些脱离晶圆的电镀液被收集并输送回电镀槽内，以供电镀槽电镀其他晶圆使用。其中，优选的，在通过设置喷口向晶圆表面进行喷淋的方式，以使晶圆表面的电镀液脱离晶圆的方案中，喷淋所使用的液体为纯水，以使得喷淋后获得的具有电镀液的液体能够符合输送回电镀池的相关技术标准。具体来说，现有技术中，电镀池内的电镀液的工作温度通常为45℃，导致蒸发比较快，所以需要经常补水。在现有技术中，向电镀池补加的是纯水，而当金属离子浓度较低时，也是需要额外进行补加的。本专利技术中，利用该电镀液在线回收方法时，向电镀液内补充的是回收槽内收集到的电镀液，倘若通过喷淋的方式收集电镀液，则回收液中同时包括了纯水和电镀液，所以相当于同时补加了金属离子和水，从而有效减少了额外的金属离子和纯水的补加频率。另外，关于回收环节时，晶圆的所在位置，具体可包括但不限于：(1)、在完成晶圆电镀之后，将晶圆移动至电镀池的上方，并对其实施回收工序。在这种情况下，脱离晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电镀液在线回收方法，其特征在于，其包括以下步骤：/n电镀环节：对晶圆进行电镀；/n回收环节：使晶圆表面的电镀液脱离晶圆；/n再利用环节：将脱离晶圆的电镀液输送至电镀池内。/n

【技术特征摘要】
1.一种电镀液在线回收方法，其特征在于，其包括以下步骤：
电镀环节：对晶圆进行电镀；
回收环节：使晶圆表面的电镀液脱离晶圆；
再利用环节：将脱离晶圆的电镀液输送至电镀池内。


2.如权利要求1所述的电镀液在线回收方法，其特征在于，在所述电镀环节中，在完成对晶圆进行电镀后，将晶圆移至回收槽中；
在所述再利用环节中，在回收槽中收集脱离晶圆的电镀液后，再输送至电镀池内。


3.如权利要求2所述的电镀液在线回收方法，其特征在于，在所述电镀环节中，在完成对晶圆进行电镀后，晶圆夹具带动晶圆离开电镀池，并移动至回收槽中。


4.如权利要求2所述的电镀液在线回收方法，其特征在于，回收槽中具有回收池，回收池用于容纳回收液，在所述回收环节中，将晶圆浸没于回收池的回收液中。


5.如权利要求4所述的电镀液在线回收方法，其特征在于，回收槽中还具有储液池；
在所述再利用环节中，将...

【专利技术属性】
技术研发人员：史蒂文·贺·汪，
申请(专利权)人：新阳硅密上海半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31