一种可测量硅芯直径的硅芯炉制造技术

技术编号:26239618 阅读:41 留言:0更新日期:2020-11-06 17:10
本实用新型专利技术公开了一种可测量硅芯直径的硅芯炉,包括炉体,所述炉体的端壁设有若干个硅芯出料口,若干个所述硅芯出料口呈圆周排布,所述炉体的端壁且位于若干个所述硅芯出料口之间设有箱体,所述箱体的内表面中间位置固定安装有座体,所述座体的侧壁设有若干个与硅芯出料口相对应的压力传感器,所述压力传感器与外设的计算机电性连接,所述箱体的侧壁贯穿有若干个与压力传感器相对应的滑孔,所述滑孔内滑动连接有压杆,本实用新型专利技术可在生产过程中,测量出某段硅芯棒的直径变化,当其中有的位置不符合标准时,可对炉体内的生产装置调节,生产出符合标准的硅芯棒,防止对硅芯棒切割后得到的硅芯品质出现问题。

【技术实现步骤摘要】
一种可测量硅芯直径的硅芯炉
本技术涉及硅芯测量
,具体领域为一种可测量硅芯直径的硅芯炉。
技术介绍
硅芯是光伏行业上游中的改良西门子法还原炉所用的晶种,主要用于高纯原生多晶硅的生产。目前,硅芯的制备方式主要有硅芯炉生长法和晶体直拉生产法。其中,硅芯炉是最早生产硅芯的专用设备,在惰性气氛下,将原生多晶硅棒局部熔化后,将带有籽晶的籽晶轴插入到熔化的原生多晶硅料中,逐步提升籽晶轴,进行引晶,待达到设定的直径后,连带熔化的原生多晶硅料上升,熔化的多晶硅料拉晶上升时温度降低并长晶形成硅芯棒。晶体直拉法使用直拉单晶炉进行生产,首先拉制出多晶硅/单晶硅芯棒,再通过线锯将芯棒切成目标尺寸的硅芯。目前,在利用硅芯炉制备硅芯过程中,由于无法测量其直径,从而在生产过程中,很难发现硅芯棒的直径不符合标准,从而影响后序硅芯的品质。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可测量硅芯直径的硅芯炉,以解决上述
技术介绍
中提出在利用硅芯炉制备硅芯过程中,由于无法测量其直径,从而在生产过程中,很难发现硅芯棒的直径不符合标准,从而影响后序硅芯品质的问题。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可测量硅芯直径的硅芯炉,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)的端壁设有若干个硅芯出料口(2),若干个所述硅芯出料口(2)呈圆周排布,所述炉体(1)的端壁且位于若干个所述硅芯出料口(2)之间设有箱体(3),所述箱体(3)的内表面中间位置固定安装有座体(4),所述座体(4)的侧壁设有若干个与硅芯出料口(2)相对应的压力传感器(5),所述压力传感器(5)与外设的计算机电性连接,所述箱体(3)的侧壁贯穿有若干个与压力传感器(5)相对应的滑孔,所述滑孔内滑动连接有压杆(6),所述压杆(6)位于箱体(3)内部的一端连接有减缓对压力传感器(5)冲击的缓冲杆件,所述压杆(6)位于箱体(3)外部的...

【技术特征摘要】
1.一种可测量硅芯直径的硅芯炉,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)的端壁设有若干个硅芯出料口(2),若干个所述硅芯出料口(2)呈圆周排布,所述炉体(1)的端壁且位于若干个所述硅芯出料口(2)之间设有箱体(3),所述箱体(3)的内表面中间位置固定安装有座体(4),所述座体(4)的侧壁设有若干个与硅芯出料口(2)相对应的压力传感器(5),所述压力传感器(5)与外设的计算机电性连接,所述箱体(3)的侧壁贯穿有若干个与压力传感器(5)相对应的滑孔,所述滑孔内滑动连接有压杆(6),所述压杆(6)位于箱体(3)内部的一端连接有减缓对压力传感器(5)冲击的缓冲杆件,所述压杆(6)位于箱体(3)外部的一端固定连接有第一限位槽体(7),所述炉体(1)的端壁上且靠近硅芯出料口(2)的位置设有调节组件,所述调节组件的调节端上铰接有第二限位槽体(8),硅芯从第一限位槽体(7)与第二限位槽体(8)之间穿过,所述压杆(6)上套接有主弹簧(9),所述主弹簧(9)的一端固定安装在第一限位槽体(7)上,所述主弹簧(9)的另一端固定安装在箱体(3)的外侧壁上。


2.根据权利要求1所述的一种可测量硅芯直径的硅芯炉,其特征在于:所述缓冲杆件包括缓冲杆(10)和副弹簧(11),所述压杆(6)位于箱体(3)内部的...

【专利技术属性】
技术研发人员:金胜薛建云施红亮邱风
申请(专利权)人:新疆登博新能源有限公司
类型:新型
国别省市:新疆;65

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