【技术实现步骤摘要】
一种氮化镓生产用生长杆输送装置
本技术涉及晶体新材料生产
，具体涉及一种氮化镓生产用生长杆输送装置。
技术介绍
工业上使用氮化镓生长炉生产制备氮化镓晶体的工艺是在1000℃左右的高温下使用金属镓、氯化氢和氨气进行反应，在生长炉内的籽晶生长杆上生长氮化镓晶体。传统的晶体生长炉为立式，其生长杆一般采用提拉机构插入到炉体中，晶体生长过程中提拉生长杆，此种生长杆的安装方式在卧式的生长炉中却不适用。
技术实现思路
为解决现有技术中存在的问题，本技术专利设计了一种可以用于卧式加热生长炉的氮化镓生产用生长杆输送装置，所述生长杆输送装置包括对接盘和固定杆，所述对接盘中部开有穿孔，其外侧中部连接有固定杆支撑装置，所述固定杆支撑装置包括支撑板和套管，所述套管连接于支撑板的顶端，所述套管的一端与对接盘连接，所述套管中固定有轴承，所述固定杆从对接盘的中部穿孔插入到套管中，所述固定杆从轴承的内圈穿过并固定，所述固定杆的一端从对接盘的中部穿孔露出，另一端穿过轴承后连接有传动齿轮，所述传动齿轮连接有动力电机。本技术专利设计的生长...
【技术保护点】
1.一种氮化镓生产用生长杆输送装置，其特征在于，所述生长杆输送装置包括对接盘和固定杆，所述对接盘中部开有穿孔，其外侧中部连接有固定杆支撑装置，所述固定杆支撑装置包括支撑板和套管，所述套管连接于支撑板的顶端，所述套管的一端与对接盘连接，所述套管中固定有轴承，所述固定杆从对接盘的中部穿孔插入到套管中，所述固定杆从轴承的内圈穿过并固定，所述固定杆的一端从对接盘的中部穿孔露出，另一端穿过轴承后连接有传动齿轮，所述传动齿轮连接有动力电机。/n
【技术特征摘要】
1.一种氮化镓生产用生长杆输送装置，其特征在于，所述生长杆输送装置包括对接盘和固定杆，所述对接盘中部开有穿孔，其外侧中部连接有固定杆支撑装置，所述固定杆支撑装置包括支撑板和套管，所述套管连接于支撑板的顶端，所述套管的一端与对接盘连接，所述套管中固定有轴承，所述固定杆从对接盘的中部穿孔插入到套管中，所述固定杆从轴承的内圈穿过并固定，所述固定杆的一端从对接盘的中部穿孔露出，另一端穿过轴承后连接有传动齿轮，所述传动齿轮连接有动力电机。
2.根据权利要求1所述的氮化镓生产用生长杆输送装置，其特征在于，所述生长杆输送装置还包括滑道，所述支撑板下侧连接有平板，所述平板的底部设有滑块，所述滑块卡合在滑道上。
3.根据权利要求2所述的氮化镓生产用生长杆输送装置，其特征在于，所述对接盘的外侧中部焊接有短管，所述短管与套管同轴，二者直径相同，所述短管通过不锈钢波纹管与套管连接，所述短管的下侧连接有立板，所述立板底部连接有横板，所述横板底部也设有滑块与滑道连接。
4.根据权利要求2所述的氮化镓生产用生长杆输送装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：石恒业，邵永亮，张保国，胡海啸，李仕蛟，
申请(专利权)人：山东科恒晶体材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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