半导体单晶合成坩锅制造技术

技术编号:26132712 阅读:54 留言:0更新日期:2020-10-31 10:22
本实用新型专利技术涉及冶炼设备技术领域,更具体的说是半导体单晶合成坩锅,可以自动清理坩埚的内壁与外壁。倾倒电机带动合成坩埚转动,将合成坩埚中的冶炼的熔化液倾倒出来,然后打开翻转油缸,翻转油缸顶起翻动连接板,使翻动连接板在垂直转动底座上转动,带动合成坩埚翻转起来,当合成坩埚内壁贴合在内壁清理毛刷上时,清理电机带动转动半圆板转动,转动半圆板带动内壁清理毛刷旋转,并对合成坩埚内壁进行清理,同时打开伸缩配合气缸,伸缩配合气缸带动电机安装架和旋转电机靠近合成坩埚,并使外壁贴合半圆板带动多个外壁清理刷贴合在合成坩埚的外壁上,旋转电机带动外壁贴合半圆板和多个外壁清理刷旋转,多个外壁清理刷将合成坩埚外壁进行清理。

【技术实现步骤摘要】
半导体单晶合成坩锅
本技术涉及冶炼设备
,更具体的说是半导体单晶合成坩锅。
技术介绍
公开号为CN209043024U的技术公开了一种坩锅,其主要技术方案包括:用于储存熔液的、与熔炉内壁相匹配的坩锅本体;设置在坩锅本体开口处的法兰环;环设在坩锅本体外壁上、用于密封熔炉开口处内壁与坩锅本体外壁之间缝隙的加强部。本技术的坩锅在使用时,能够降低坩锅膨胀变形或产生裂痕的概率,延长坩锅的使用寿命,减少熔炉的热散失;缺点是无法自动清理坩埚的内壁与外壁。
技术实现思路
本技术提供半导体单晶合成坩锅,其有益效果为半导体单晶合成坩锅可以自动清理坩埚的内壁与外壁。半导体单晶合成坩锅,包括内壁清理安装底座、转动倾倒坩埚和外壁旋转清理支架,所述的外壁旋转清理支架固定连接在内壁清理安装底座右端,转动倾倒坩埚固定连接在内壁清理安装底座上,所述的内壁清理安装底座包括加热支架、底部加热炉、转动固定支架、清理立柱、清理电机、转动半圆板和内壁清理毛刷,转动半圆板上均布有多个内壁清理毛刷,转动半圆板固定连接在清理电机的输出轴上,清理电机通过螺栓可拆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.半导体单晶合成坩锅,包括内壁清理安装底座(1)、转动倾倒坩埚(2)和外壁旋转清理支架(3),所述的外壁旋转清理支架(3)固定连接在内壁清理安装底座(1)右端,转动倾倒坩埚(2)固定连接在内壁清理安装底座(1)上,其特征在于:所述的内壁清理安装底座(1)包括加热支架(1-1)、底部加热炉(1-2)、转动固定支架(1-3)、清理立柱(1-4)、清理电机(1-5)、转动半圆板(1-6)和内壁清理毛刷(1-7),转动半圆板(1-6)上均布有多个内壁清理毛刷(1-7),转动半圆板(1-6)固定连接在清理电机(1-5)的输出轴上,清理电机(1-5)通过螺栓可拆卸连接在清理立柱(1-4),清理立柱(1-...

【技术特征摘要】
1.半导体单晶合成坩锅,包括内壁清理安装底座(1)、转动倾倒坩埚(2)和外壁旋转清理支架(3),所述的外壁旋转清理支架(3)固定连接在内壁清理安装底座(1)右端,转动倾倒坩埚(2)固定连接在内壁清理安装底座(1)上,其特征在于:所述的内壁清理安装底座(1)包括加热支架(1-1)、底部加热炉(1-2)、转动固定支架(1-3)、清理立柱(1-4)、清理电机(1-5)、转动半圆板(1-6)和内壁清理毛刷(1-7),转动半圆板(1-6)上均布有多个内壁清理毛刷(1-7),转动半圆板(1-6)固定连接在清理电机(1-5)的输出轴上,清理电机(1-5)通过螺栓可拆卸连接在清理立柱(1-4),清理立柱(1-4)底端固定连接在转动固定支架(1-3)上,转动固定支架(1-3)固定连接在加热支架(1-1)左端,底部加热炉(1-2)固定连接在加热支架(1-1)中部,外壁旋转清理支架(3)固定连接在加热支架(1-1)右端,转动倾倒坩埚(2)固定连接在转动固定支架(1-3)上。


2.根据权利要求1所述的半导体单晶合成坩锅,其特征在于:所述的转动倾倒坩埚(2)包括合成坩埚(2-1)、倾倒电机(2-2)、翻动连接板(2-3)、垂直转动底座(2-4)、翻转油缸(2-5)和油缸配合底座(2-6),合成坩埚(2-1)左端固定连接在倾...

【专利技术属性】
技术研发人员:董家海斯超波
申请(专利权)人:浙江诺华陶瓷有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1