【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种在线浓度计装置。技术背景 '浓度计常用于测量化学溶液的浓度值。 一般情况下，浓度计测量浓度值 时要求的精度根据不同应用环境有不同的要求。在晶圆生产厂中，通常要使 用浓度计在线测量化学溶液的质量百分比浓度高，并实时监测化学溶液的质 量百分比浓度的变化。一般情况下，浓度计的质量百分比浓度测量精度要求达到0.01%。同时根据在线测量的特点，由于晶圆厂的特殊环境，在浓度计周围的设 备一般会对浓度计造成静电以及电磁干扰。而生产经验表明这种干扰对浓度 计的精度有着相当大的影响。图1所示为现有技术的在线浓度计装置，在线浓度计装置20包括塑料容器2以及置于塑料容器中的浓度计5，塑料容器中 有入口 21和出口 22，数据通讯线4与浓度计5连接，用来传输浓度计的实 时测量数据。图2所示为现有技术浓度计装置的在线测量结果，浓度计5本 身的百分比浓度测量精度可以达到0.01%，但是由于环境中静电以及电磁干 扰等原因，导致测量结果上下波动，导致了在线浓度计装置20的测量结果不 准确性。这种不准确性能最终导致生产中使用的化学品不符合生产的要求， 对产品品质造成影响。
技术实现思路
为解在线决浓度计装置测量时静电及电磁干扰问题，提高在线浓度计装 置的测量的准确度，本技术提供一种在线浓度计装置。本技术所公开的抗干扰在线浓度计装置，包括容器、位于所述容器 内的浓度计以及覆盖于所述容器外表面的金属层。其中，所述金属层可以为铝箔纸材料，所述浓度计插置在所述容器中， 并通过数据通信线向外传输数据，所述容器为塑料容器。通过覆盖于容器外表面的金属层，可以屏蔽周围环境中的静电及电i兹对 浓...
【技术保护点】
一种在线浓度计装置，包括容器以及位于所述容器内的浓度计，其特征在于还包括覆盖于所述容器外表层的金属层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨学娜，张旭，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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