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本实用新型涉及一种在线浓度计装置，该装置包括容器、位于所述容器内的浓度计以及覆盖于所述容器外表面的金属层。通过覆盖于容器外表面的金属层，可以屏蔽周围环境中的静电及电磁对浓度计的干扰，从而防止在线浓度计装置测量值的波动，提高浓度测量的准确度。...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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