热电偶温度检测切换器及热电偶温度检测系统技术方案

本发明专利技术实施例涉及一种热电偶温度检测切换器及热电偶温度检测系统。该热电偶温度检测切换器包括壳体、设置于壳体的第一插接件以及通过连接件和开关件与第一插接件电性连接的第二插接件，其中，第二插接件的数量为多个，每个第二插接件与扩散炉的石英管内的其中一个热电偶电性连接。在使用该热电偶温度检测切换器时，通过第一插接件实现该热电偶温度检测切换器与温度表的电性连接，并通过操作开关件可控制温度表与每个热电偶的导通状态，从而实现对每个热电偶的温度检测。这样，能够避免在检测热电偶的温度时反复插拔热电偶温度检测切换器，进而避免热电偶温度检测切换器出现短路及断路现象，确保通过温度表读取到的热电偶的温度值的准确性。

【技术实现步骤摘要】
热电偶温度检测切换器及热电偶温度检测系统
本专利技术实施例涉及半导体扩散工艺中的热电偶检测
，具体而言，涉及一种热电偶温度检测切换器及热电偶温度检测系统。
技术介绍
在半导体扩散工艺中，扩散炉是重要的生产设备之一。扩散炉在使用一段时间后需要进行清洗，在对扩散炉进行拆装时会改变热电偶的位置，因此在每次完成对扩散炉的清洗或者对热电偶的更换之后，需要对扩散炉内的温度值(例如扩散炉的恒温区温度值)进行校对。然而在校对时，读取到的热电偶的温度值可能会存在偏差。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种热电偶温度检测切换器及热电偶温度检测系统，热电偶温度检测切换器连接在温度表以及多个热电偶连接之间，通过操作热电偶温度检测切换器能够控制温度表与每个热电偶的导通状态，从而实现对每个热电偶的温度检测。这样，能够避免在检测热电偶的温度时反复插拔热电偶温度检测切换器，进而避免热电偶温度检测切换器出现短路及断路现象，确保通过温度表读取到的热电偶的温度值的准确性。本专利技术实施例的第一方面，提供一种热电偶温度检测切换器(100)，包括壳体(1)、第一插接件(2)和多个第二插接件(3)以及多个连接件(4)；所述壳体(1)的第一侧壁(11)开设有第一通孔(111)，所述第一插接件(2)穿过所述第一通孔(111)并部分插入所述壳体(1)的内部，所述第一插接件(2)设置有用于与温度表电性连接的插头(21)，所述插头(21)位于所述壳体(1)的外部；所述壳体(1)与所述第一侧壁(11)相对的第二侧壁(12)开设有第二通孔(121)；所述连接件(4)的一端通过所述第二通孔(121)伸入所述壳体(1)的内部、另一端与所述第二插接件(3)电性连接，所述第二插接件(3)包括用于与扩散炉的石英管内的热电偶电性连接的插接部(31)；所述连接件(4)位于所述壳体(1)内部的一端与设置于所述壳体(1)的内部的开关件(5)电性连接；所述开关件(5)与所述第一插接件(2)电性连接，以通过所述第一插接件(2)与所述温度表电性连接，用于控制所述温度表与所述热电偶的导通状态，从而实现对所述热电偶的温度检测。在一个优选的实施例中，所述开关件(5)设置于所述壳体(1)的内部；所述开关件(5)的按压部(51)穿过所述壳体(1)的第三侧壁(13)上开设的第三通孔(131)并朝所述壳体(1)的外部延伸；其中，所述第三侧壁(13)分别与所述第一侧壁(11)和所述第二侧壁(12)的边沿相接。在一个优选的实施例中，还包括固定于所述第三侧壁(13)的多个指示灯(6)，每个指示灯(6)与其中一个按压部(51)电性连接，用于指示每个热电偶与所述温度表的导通状态。在一个优选的实施例中，还包括可拆卸式连接于所述壳体(1)的内部的电源件(7)，所述电源件(7)与所述开关件(5)和所述指示灯(6)电性连接。在一个优选的实施例中，所述第三通孔(131)间隔分布于所述第三侧壁(13)上。在一个优选的实施例中，所述壳体(1)开设有开口(15)，所述开口(15)与所述第三侧壁(13)相对，所述开口(15)处可拆卸式连接有封闭件(16)，用于对所述壳体(1)的内部进行封闭。在一个优选的实施例中，所述封闭件(16)包括夹层(162)以及设置于所述夹层(162)两侧的保护层(161)，所述夹层(162)包括导磁板，用于将所述热电偶温度检测切换器(100)固定在安装面上。在一个优选的实施例中，所述封闭件(16)靠近所述壳体(1)的一面的边沿设置有卡设件(163)，所述开口(15)的边沿设置有卡设部(151)，所述卡设件(163)插入所述卡设部(151)以实现所述壳体(1)与所述封闭件(16)的拆卸式连接。在一个优选的实施例中，所述第二插接件(3)还包括握持部(32)，所述握持部(32)的一端为楔形，另一端与所述插接部(31)一体成型；所述插接部(31)的截面积大于所述握持部(32)的截面积。本专利技术实施例的第二方面，提供一种热电偶温度检测系统，包括温度表、石英套管和上述权利要求1-9任一项所述的热电偶温度检测切换器(100)；所述温度表与所述热电偶温度检测切换器(100)的插头(21)电性连接；所述石英套管内的每个热电偶与所述热电偶温度检测切换器(100)的其中一个第二插接件(3)的插接部(31)电性连接。本专利技术实施所提供的热电偶温度检测切换器及热电偶温度检测系统，包括壳体、设置于壳体的第一插接件以及通过连接件和开关件与第一插接件电性连接的第二插接件，其中，第二插接件的数量为多个，每个第二插接件与扩散炉的石英管内的其中一个热电偶电性连接。在使用该热电偶温度检测切换器时，通过第一插接件实现该热电偶温度检测切换器与温度表的电性连接，并通过操作开关件控制温度表与每个热电偶的导通状态，从而实现对每个热电偶的温度检测。这样，能够避免在检测热电偶的温度时反复插拔热电偶温度检测切换器，进而避免热电偶温度检测切换器出现短路及断路现象，确保通过温度表读取到的热电偶的温度值的准确性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术实施例所提供的热电偶温度检测切换器的结构示意图。图2为图1中的壳体的第一视角示意图。图3为图1中的壳体的第二视角示意图。图4为图1中的壳体的第三视角示意图。图5为本专利技术实施例所提供的的封闭件的结构示意图。图6为图5所示的封闭件的剖面示意图。图7为图5所示的封闭件的另一结构示意图。图8为与图5所示的封闭件相配合的壳体的结构示意图。图9为图1中的第二插接件的结构示意图。图10为图1中的第二插接件的第四视角示意图。图标：100-热电偶温度检测切换器；1-壳体；11-第一侧壁；111-第一通孔；12-第二侧壁；121-第二通孔；13-第三侧壁；131-第三通孔；15-开口；151-卡设部；16-封闭件；161-保护层；162-夹层；163-卡设件；2-第一插接件；21-插头；3-第二插接件；31-插接部；32-握持部；4-连接件；5-开关件；51-按压部；6-指示灯；7-电源件。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例只是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热电偶温度检测切换器(100)，其特征在于，包括壳体(1)、第一插接件(2)和多个第二插接件(3)以及多个连接件(4)；/n所述壳体(1)的第一侧壁(11)开设有第一通孔(111)，所述第一插接件(2)穿过所述第一通孔(111)并部分插入所述壳体(1)的内部，所述第一插接件(2)设置有用于与温度表电性连接的插头(21)，所述插头(21)位于所述壳体(1)的外部；/n所述壳体(1)与所述第一侧壁(11)相对的第二侧壁(12)开设有第二通孔(121)；所述连接件(4)的一端通过所述第二通孔(121)伸入所述壳体(1)的内部、另一端与所述第二插接件(3)电性连接，所述第二插接件(3)包括用于与扩散炉的石英管内的热电偶电性连接的插接部(31)；/n所述连接件(4)位于所述壳体(1)内部的一端与设置于所述壳体(1)的内部的开关件(5)电性连接；/n所述开关件(5)与所述第一插接件(2)电性连接，以通过所述第一插接件(2)与所述温度表电性连接，用于控制所述温度表与所述热电偶的导通状态，从而实现对所述热电偶的温度检测。/n

【技术特征摘要】
1.一种热电偶温度检测切换器(100)，其特征在于，包括壳体(1)、第一插接件(2)和多个第二插接件(3)以及多个连接件(4)；
所述壳体(1)的第一侧壁(11)开设有第一通孔(111)，所述第一插接件(2)穿过所述第一通孔(111)并部分插入所述壳体(1)的内部，所述第一插接件(2)设置有用于与温度表电性连接的插头(21)，所述插头(21)位于所述壳体(1)的外部；
所述壳体(1)与所述第一侧壁(11)相对的第二侧壁(12)开设有第二通孔(121)；所述连接件(4)的一端通过所述第二通孔(121)伸入所述壳体(1)的内部、另一端与所述第二插接件(3)电性连接，所述第二插接件(3)包括用于与扩散炉的石英管内的热电偶电性连接的插接部(31)；
所述连接件(4)位于所述壳体(1)内部的一端与设置于所述壳体(1)的内部的开关件(5)电性连接；
所述开关件(5)与所述第一插接件(2)电性连接，以通过所述第一插接件(2)与所述温度表电性连接，用于控制所述温度表与所述热电偶的导通状态，从而实现对所述热电偶的温度检测。


2.根据权利要求1所述的热电偶温度检测切换器(100)，其特征在于，所述开关件(5)设置于所述壳体(1)的内部；
所述开关件(5)的按压部(51)穿过所述壳体(1)的第三侧壁(13)上开设的第三通孔(131)并朝所述壳体(1)的外部延伸；其中，所述第三侧壁(13)分别与所述第一侧壁(11)和所述第二侧壁(12)的边沿相接。


3.根据权利要求2所述的热电偶温度检测切换器(100)，其特征在于，还包括固定于所述第三侧壁(13)的多个指示灯(6)，每个指示灯(6)与其中一个按压部(51)电性连接，用于指示每个热电偶与所述温度表的导通状态。


4.根据权利要求3所述的热电偶温度检测切换器(100)，其特征在于，还包括可拆卸式连接于所述壳体(1)的内部...

【专利技术属性】
技术研发人员：燕超，徐嘉，
申请(专利权)人：吉林华微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：吉林;22