单晶炉防护底盘制造技术

一种单晶炉防护底盘，涉及单晶炉部件技术领域，位于单晶炉的底部，包括断热材、防漏盘，断热材与防漏盘可拆卸连接；断热材与防漏盘可拆卸连接，在断热材使用一段时间后能够将断热材直接拆下防漏盘进行更换，节约材料；断热材的结构设计使其能够插入连接孔与防漏盘连接，容易拆卸，更换方便。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉防护底盘
本技术涉及单晶炉部件
，具体涉及一种单晶炉防护底盘。
技术介绍
单晶炉的防护底盘是起到保温作用的部件，能够降低单晶炉在拉晶过程中的功率损耗，从而降低成本并增加热场部件寿命。现有的防护底盘是一体的，即防护底盘的防漏盘和断热材是无法分离的，长时间使用会导致断热材破损，保温不足，因此就需要经常更换，但是现有的防护底盘的设置使得更换断热材就需要将整个防护底盘一起更换，这无疑造成资源的浪费。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种可拆卸分离以方便更换的单晶炉防护底盘。一种单晶炉防护底盘，位于单晶炉的底部，包括断热材、防漏盘，断热材与防漏盘可拆卸连接；断热材为筒状，断热材包括由上至下依次固定连接且同轴同心的定位段及连接段，定位段与连接段的内径相同，定位段的外径大于连接段的外径；防漏盘上开设有连接孔，连接孔的直径与连接段的外径相适配，且连接孔的直径小于定位段的外径，连接段由上至下插入连接孔，定位段位于连接孔的外部，且定位段搭接在防漏盘上，以防止连接段穿过连接孔并脱离防漏盘。优选的，防漏盘上套设有连接卡环，连接卡环与单晶炉连接。优选的，连接孔包括石墨中轴孔、主电极孔、侧电极孔、排气孔，石墨中轴孔位于防漏盘的正中央，连接孔将单晶炉的内部及外部连通。优选的，断热材还包括卡接段，卡接段与连接段固定连接且两者同轴同心，卡接段位于连接段的下部，卡接段的外径与连接段的外径相同，卡接段的内径大于连接段的内径。优选的，连接段与卡接段的长度之和不大于防漏盘的厚度。优选的，定位段及连接段两者的内径均为110±1mm，连接段及卡接段两者的外径均为140±1mm；定位段的外径为150±1mm、长度为110±2mm，连接段的长度为80±2mm，卡接段的内径为124±1mm、长度为10mm。优选的，石墨中轴孔为1个，主电极孔为4个，侧电极孔为2个，排气孔为2个。优选的，断热材的数量与连接孔的数量相适配。本技术采用上述技术方案，其有益效果在于：断热材与防漏盘可拆卸连接，在断热材使用一段时间后能够将断热材直接拆下防漏盘进行更换，节约材料；断热材的结构设计使其能够插入连接孔与防漏盘连接，容易拆卸，更换方便。附图说明图1为单晶炉防护底盘的结构示意图。图2为图1中一个角度的剖视图。图3为防漏盘的结构示意图。图4为第一种断热材的结构示意图。图5为第一种断热材另一个角度的结构示意图。图6为第一种断热材的纵向剖面图。图7为第二种断热材的结构示意图。图8为第二种断热材另一个角度的结构示意图。图9为第二种断热材的纵向剖面图。图10为第三种断热材的结构示意图。图11为第三种断热材的纵向剖面图。图中：单晶炉防护底盘10、断热材20、定位段21、连接段22、卡接段23、突起段24、防漏盘30、连接孔31、石墨中轴孔311、主电机孔312、侧电极孔313、排气孔314、连接卡环32。具体实施方式为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。请参看图1至图6，本技术实施例提供了一种单晶炉防护底盘10，位于单晶炉的底部，包括断热材20、防漏盘30，断热材20与防漏盘30可拆卸连接；断热材20为筒状，断热材20包括由上至下依次固定连接且同轴同心的定位段21及连接段22，定位段21与连接段22的内径相同，定位段21的外径大于连接段22的外径；防漏盘30上开设有连接孔31，连接孔31的直径与连接段22的外径相适配，以使连接段22插入连接孔31内后使得连接段22与防漏盘30相对固定，连接孔31的直径小于定位段21的外径，连接段22由上至下插入连接孔31，定位段21位于连接孔31的外部，且定位段21搭接在防漏盘30上，以防止连接段22穿过连接孔31并脱离防漏盘30。进一步的，防漏盘30上套设有连接卡环32，连接卡环32与单晶炉连接。进一步的，连接孔31包括石墨中轴孔311、主电极孔312、侧电极孔313、排气孔314，石墨中轴孔311位于防漏盘30的正中央，连接孔31将单晶炉的内部及外部连通。进一步的，断热材20还包括卡接段23，卡接段23与连接段22固定连接且两者同轴同心，卡接段23位于连接段22的下部，卡接段23的外径与连接段22的外径相同，卡接段23的内径大于连接段22的内径。进一步的，连接段22与卡接段23的长度之和不大于防漏盘30的厚度。进一步的，定位段21及连接段22两者的内径均为110±1mm，连接段22及卡接段23两者的外径均为140±1mm；定位段21的外径为150±1mm、长度为110±2mm，连接段22的长度为80±2mm，卡接段23的内径为124±1mm、长度为10mm。进一步的，石墨中轴孔311为1个，主电极孔312为4个，侧电极孔313为2个，排气孔314为2个。进一步的，断热材20的数量与连接孔31的数量相适配。请参看图7至图11，进一步的，上述的断热材20为第一种断热材20，数量为6个，分别插入4个主电极孔312和2个侧电极孔313，主电极孔312和侧电极孔313的孔径均与第一种断热材20的连接段22的外径相适配，且小于第一种断热材20的定位段21的外径。除第一种断热材20外，还设计有另外两种断热材20，分别为第二种断热材20和第三种断热材20，其中，第二种断热材20包括由上至下依次固定连接且同轴同心的突起段24、定位段21、连接段22、卡接段23；突起段24、定位段21、连接段22三者的内径均为160mm，突起段24、连接段22、卡接段23三者的外径均为200±1mm，突起段24的长度为11mm，定位段21的外径为210±1mm、长度为119±2mm，连接段22的长度为55±2mm，卡接段23的内径为184±2mm、长度为25mm；第二种断热材20为1个，插入石墨中轴孔311，石墨中轴孔311的孔径与第二种断热材20的连接段22的外径相适配，且小于第二种断热材20的定位段21的外径。第三种断热材20只包括由上至下依次固定连接的定位段21和连接段22，定位段21及连接段22两者的内径均为80±1mm，定位段21的外径为120±1mm、长度为40±2mm，连接段22的外径为110±1mm、长度为80±2mm；第三种断热材20为2个，分别插入排气孔314内，排气孔314的孔径与第三种断热材20的连接段22的外径相适配，且小于第三种断热材20的定位段21的外径。进一步的，断热材20的筒状设置使得其能够起到保温作用。本装置在具体使用时，将6个第一种断热材20分别插入4个主电极孔312和2个侧电极孔313中，将1个第二种断热材20插入石墨中轴孔311中，将2个本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉防护底盘，位于单晶炉的底部，其特征在于：包括断热材、防漏盘，断热材与防漏盘可拆卸连接；断热材为筒状，断热材包括由上至下依次固定连接且同轴同心的定位段及连接段，定位段与连接段的内径相同，定位段的外径大于连接段的外径；防漏盘上开设有连接孔，连接孔的直径与连接段的外径相适配，且连接孔的直径小于定位段的外径，连接段由上至下插入连接孔，定位段位于连接孔的外部，且定位段搭接在防漏盘上，以防止连接段穿过连接孔并脱离防漏盘。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉防护底盘，位于单晶炉的底部，其特征在于：包括断热材、防漏盘，断热材与防漏盘可拆卸连接；断热材为筒状，断热材包括由上至下依次固定连接且同轴同心的定位段及连接段，定位段与连接段的内径相同，定位段的外径大于连接段的外径；防漏盘上开设有连接孔，连接孔的直径与连接段的外径相适配，且连接孔的直径小于定位段的外径，连接段由上至下插入连接孔，定位段位于连接孔的外部，且定位段搭接在防漏盘上，以防止连接段穿过连接孔并脱离防漏盘。


2.如权利要求1所述的单晶炉防护底盘，其特征在于：所述防漏盘上套设有连接卡环，连接卡环与单晶炉连接。


3.如权利要求2所述的单晶炉防护底盘，其特征在于：所述连接孔包括石墨中轴孔、主电极孔、侧电极孔、排气孔，石墨中轴孔位于防漏盘的正中央，连接孔将单晶炉的内部及外部连通。


4.如权利要求3所述的单晶炉防护底盘，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：马成，王忠保，
申请(专利权)人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64