一种单晶炉用反射板制造技术

本实用新型专利技术公开一种单晶炉用反射板，包括固化碳毡层和反射层，反射层的边缘向固化碳毡层一侧折弯形成折弯边；固化碳毡层中部开设有托杆孔、以几何中心为圆心的边缘开设有多个电极孔以及开设于相邻两电极孔之间的多个排气孔；反射层上开设有与所述托杆孔、电极孔以及排气孔一一对应且位置相同、尺寸相同的通孔。本实用新型专利技术通过在固化碳毡层表面覆盖反射层，反射层将炉内加热器辐射过来的热量反射至坩埚处，有利于热场温度的均匀，使单晶炉内的热场温度均匀，减少了炉底热量的损失，降低了单晶硅棒生产的能耗；采用钼板、钨板、钨钼合金板或铱板等材料作为反射层，其熔点高，不易破裂，导热系数低，有效减缓了反射板的老化，延长了其使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用反射板
本技术涉及硅单晶制造
，具体是一种单晶炉用反射板。
技术介绍
直拉单晶炉是一种硅的定向凝固设备，其功能是将单晶硅按照设定工艺经过熔料、引晶、放肩、转肩、等径和收尾几个阶段后成为有一定晶体生长方向的晶棒。直拉单晶炉是一种能耗较高、工时较长的生产设备，在同样的晶体方向及晶体尺寸条件下，缩短工时、减少能耗是希望得到改善的。在现有的直拉单晶炉中，为了减少能耗在单晶炉内的加热器的周围设置隔热材料，一种方法是设计保温罩，但是这种方式存在如下不足：在融化阶段加热器底部向下方散热而浪费热能并使熔料时间加长，且无法根据需要对保温材料的厚度进行调节，达到提高保温效果的目的；另一种方式是在单晶炉的底部采用石墨加软炭毡的作为作为反射板用于底部保温，但是石墨材料导热系数高，因此热量发射性能较差，并且使用寿命短，需要频繁更换，而软炭毡经过长时间的高温后会渗入硅致使其保温性能下降、老化，并且容易吸收炉内由于高温挥发的杂质，开炉后难以清理，再次使用时会对单晶炉内硅熔体造成二次污染，并影响单晶硅品质。中国专利CN201220428055.9公开本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉用反射板，其特征在于：包括固化碳毡层(1)以及覆盖于所述固化碳毡层(1)表面的反射层(2)，所述反射层(2)的边缘向所述固化碳毡层(1)一侧折弯形成折弯边(6)，所述折弯边(6)扣合于所述固化碳毡层(1)的各个侧面上；/n所述固化碳毡层(1)中部开设有托杆孔(3)、以几何中心为圆心的边缘均匀开设有多个电极孔(5)以及开设于相邻两所述电极孔(5)之间的多个排气孔(7)；/n所述反射层(2)上开设有与所述托杆孔(3)、电极孔(5)以及排气孔(7)一一对应且位置相同、尺寸相同的通孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用反射板，其特征在于：包括固化碳毡层(1)以及覆盖于所述固化碳毡层(1)表面的反射层(2)，所述反射层(2)的边缘向所述固化碳毡层(1)一侧折弯形成折弯边(6)，所述折弯边(6)扣合于所述固化碳毡层(1)的各个侧面上；
所述固化碳毡层(1)中部开设有托杆孔(3)、以几何中心为圆心的边缘均匀开设有多个电极孔(5)以及开设于相邻两所述电极孔(5)之间的多个排气孔(7)；
所述反射层(2)上开设有与所述托杆孔(3)、电极孔(5)以及排气孔(7)一一对应且位置相同、尺寸相同的通孔。


2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用反射板，其特征在于：所述托杆孔(3)内套设有托杆孔护套(4)；所述排气孔(7)内套设有排气孔护套(8)。


3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用反射板，其特征在于：所述固化碳毡层(1)的厚度为30～80mm。


4.根据权利要求3所述的一种单晶炉用反射板，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈超，刘进怀，殷勇，陈斌，
申请(专利权)人：湖南金创新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43