一种直拉单晶炉用石墨支撑环制造技术

本实用新型专利技术提供一种直拉单晶炉用石墨支撑环，包括支撑环，所述支撑环的表面设置有防护层，所述防护层包括弹力层、防腐层和耐磨层，所述弹力层位于支撑环的外侧，所述防腐层位于弹力层的外侧，所述耐磨层位于防腐层的外侧。本实用新型专利技术通过弹簧的配合，支撑环受力，从而对弹簧进行挤压，通过弹簧的弹性回弹，继而对支撑环所受的力进行缓冲，通过弹力层的配合，从而对支撑环所受的力进行缓冲，防止支撑环容易受压变形，使用者需要多次对石墨支撑环进行更换，同时会严重影响直拉单晶炉的工作效率，解决了传统直拉单晶炉用石墨支撑环弹性效果差的问题，通过陶瓷化硅橡胶层和聚氨酯层的配合，增加了支撑环的弹性效果。

【技术实现步骤摘要】
一种直拉单晶炉用石墨支撑环
本技术涉及单晶炉领域，尤其涉及一种直拉单晶炉用石墨支撑环。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径，比如85炉，是指主炉筒的直径大小，120、150等型号是由装料量来决定的。单晶炉在加工过程中需要用到石墨支撑环，然而传统直拉单晶炉用石墨支撑环的弹性效果差，导致石墨支撑环容易受压变形，使用者需要多次对石墨支撑环进行更换，会严重影响直拉单晶炉的工作效率，同时会增加产品的损坏率。因此，有必要提供一种直拉单晶炉用石墨支撑环解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术提供一种直拉单晶炉用石墨支撑环，解决了传统直拉单晶炉用石墨支撑环弹性效果差的问题。为解决上述技术问题，本技术提供的一种直拉单晶炉用石墨支撑环，包括支撑环，所述支撑环内腔的内壁固定连接有弹簧，所述弹簧的材质为硅锰合金，所述支撑环的表面设置有防护层，所述防护层包括弹力层、防腐层和耐磨层，所述弹力本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种直拉单晶炉用石墨支撑环，包括支撑环(1)，其特征在于：所述支撑环(1)内腔的内壁固定连接有弹簧(4)，所述弹簧(4)的材质为硅锰合金，所述支撑环(1)的表面设置有防护层(2)，所述防护层(2)包括弹力层(21)、防腐层(22)和耐磨层(23)，所述弹力层(21)位于支撑环(1)的外侧，所述防腐层(22)位于弹力层(21)的外侧，所述耐磨层(23)位于防腐层(22)的外侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种直拉单晶炉用石墨支撑环，包括支撑环(1)，其特征在于：所述支撑环(1)内腔的内壁固定连接有弹簧(4)，所述弹簧(4)的材质为硅锰合金，所述支撑环(1)的表面设置有防护层(2)，所述防护层(2)包括弹力层(21)、防腐层(22)和耐磨层(23)，所述弹力层(21)位于支撑环(1)的外侧，所述防腐层(22)位于弹力层(21)的外侧，所述耐磨层(23)位于防腐层(22)的外侧。


2.根据权利要求1所述的直拉单晶炉用石墨支撑环，其特征在于，所述弹力层(21)包括陶瓷化硅橡胶层(211)和聚氨酯层(212)，所述陶瓷化硅橡胶层(211)位于支撑环(1)的外侧，所述聚氨酯层(212)位于陶瓷化硅橡胶层(211)的外侧。


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【专利技术属性】
技术研发人员：申连喜，赵永敬，
申请(专利权)人：嘉祥洪润电碳有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37