一种长晶炉排气管结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种长晶炉排气管结构。该种长晶炉排气管结构包括：管一，管一的一端与长晶炉连通；管二，管二与管一相交连通；密封件，密封件可拆卸式安装于管一的另一端以及管二的一端。通过相交连通的结构以及可拆卸的密封件，能够有效解决排气管的拐角无法清理的问题，提高了清理的效果，降低了管路堵塞的可能。

【技术实现步骤摘要】
一种长晶炉排气管结构
本技术涉及长晶炉设备领域，特别涉及长晶炉的排气管结构。
技术介绍
长晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，而直拉法生长单晶硅的过程中，会产生大量粉尘，粉尘会对长晶过程产生不利的影响，故长晶炉都设置有排气管，通过排气管排出长晶炉中的粉尘，以保证长晶质量。现有的长晶炉管道的清理，通常都是在停炉后，将刷子伸入管道内清理管道内壁，而管路拐角处由于管路方向变化，粉尘运动路径发生变化从而导致粉尘更易残留于管道拐角处，但是通常的管路结构导致刷子难以清理管路的拐角，从而导致拐角处粉尘残留依旧存在，轻则导致排气管排气能力下降，重则导致排气管堵塞。
技术实现思路
本申请通过提供一种长晶炉排气管结构，从而解决现有技术中拐角难以清理的问题。本申请实施例提供了一种长晶炉排气管结构，包括：管一，所述管一的一端与所述长晶炉连通；管二，所述管二与所述管一相交连通；密封件，密封件可拆卸式安装于管一的另一端以及管二的一端。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种长晶炉排气管结构，其特征在于，包括：/n管一，所述管一的一端与所述长晶炉连通；/n管二，所述管二与所述管一相交连通；/n密封件，所述密封件可拆卸式安装于所述管一的另一端以及所述管二的一端。/n

【技术特征摘要】
1.一种长晶炉排气管结构，其特征在于，包括：
管一，所述管一的一端与所述长晶炉连通；
管二，所述管二与所述管一相交连通；
密封件，所述密封件可拆卸式安装于所述管一的另一端以及所述管二的一端。


2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述管一包括段一与段二，所述段一与所述段二之间设置有连接件，所述连接件用于将所述段一与段二同轴连接。


3.根据权利要求2所述的结构，其特征在于，所述管一、管二各有两根，所述管一与所述管二形成的相交连通的结构有两组并对称设置于所述长晶炉两侧；
所述长晶炉排气管结构还包括管三...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏，陶飞，
申请(专利权)人：扬州合晶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32