晶体切割装置制造方法及图纸

技术编号:26156743 阅读:34 留言:0更新日期:2020-10-31 12:17
本发明专利技术公开了一种晶体切割装置,包括放线辊、收线辊、切割线、线网驱动机构以及晶体固定装置,放线辊放出的切割线绕过线网驱动机构后卷绕在收线辊上;线网驱动机构上设有槽体,切割线沿着线网驱动机构上的槽体进行卷绕以形成切割线网,晶体固定装置位于切割线网的一侧,所述晶体固定装置包括升降部件、晶托,所述晶体固定装置还包括:连接板,连接板与升降部件的一端连接;驱动连接板偏摆以调整晶体被切割线网进行切割位置调整的偏摆调节组件,偏摆调节组件与连接板配合;晶托连接组件,晶托连接组件与连接板固定,晶托连接组件与晶托配合。本发明专利技术具有使切割的硅片的晶向获得提升的优点。

【技术实现步骤摘要】
晶体切割装置
本专利技术涉及晶体切割
,具体涉及一种晶体切割装置。
技术介绍
CN108501232A公开了一种用于多晶硅的金刚线切割装置的切割方法,包括放线辊送线:放线辊和收线辊转动,放线辊储线段向收线辊放线,排线摆臂偏摆,在排线轮的导向下,使得收线轮上卷绕k公里的金刚线;收线轮送线:放线辊和收线辊反向转动,收线轮向放线轮放线,排线摆臂偏摆,在排线轮的导向下,使得放线轮上卷绕m公里的金刚线;进线切割:收线轮继续向放线轮放出n公里的金刚线,同时晶托下降,使得晶棒朝着线网下压,直至晶棒被线网切割成若干片;放线轮和收线轮回线:晶托上升,带动晶棒与线网分开,放线辊和收线辊转动,放线轮向收线轮放线,使得放线轮上(m+n)公里的金刚线全部回收卷绕到收线轮上;收线轮再向放线辊储线段放线,使得收线轮上k公里的金刚线全部回收卷绕到放线辊储线段上;放线辊储线段再向收线辊储线段放线,使得收线辊储线段卷绕上(k-m-n)公里的金刚线;放线辊储线段空跑线:放线辊和收线辊转动,在排线摆臂的引导下,放线辊储线段向收线辊储线段放出h公里的金刚线。<br>由于晶体(多晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.晶体切割装置,包括放线辊、收线辊、切割线、线网驱动机构以及晶体固定装置,放线辊放出的切割线绕过线网驱动机构后卷绕在收线辊上;线网驱动机构上设有槽体,切割线沿着线网驱动机构上的槽体进行卷绕以形成切割线网,晶体固定装置位于切割线网的一侧,所述晶体固定装置包括升降部件、晶托,其特征在于,所述晶体固定装置还包括:/n连接板,连接板与升降部件的一端连接;/n驱动连接板偏摆以调整晶体被切割线网进行切割位置调整的偏摆调节组件,偏摆调节组件与连接板配合;/n晶托连接组件,晶托连接组件与连接板固定,晶托连接组件与晶托配合。/n

【技术特征摘要】
1.晶体切割装置,包括放线辊、收线辊、切割线、线网驱动机构以及晶体固定装置,放线辊放出的切割线绕过线网驱动机构后卷绕在收线辊上;线网驱动机构上设有槽体,切割线沿着线网驱动机构上的槽体进行卷绕以形成切割线网,晶体固定装置位于切割线网的一侧,所述晶体固定装置包括升降部件、晶托,其特征在于,所述晶体固定装置还包括:
连接板,连接板与升降部件的一端连接;
驱动连接板偏摆以调整晶体被切割线网进行切割位置调整的偏摆调节组件,偏摆调节组件与连接板配合;
晶托连接组件,晶托连接组件与连接板固定,晶托连接组件与晶托配合。


2.根据权利要求1所述的晶体切割装置,其特征在于,所述偏摆调节组件为两组,每组偏摆调节组件包括调节块以及调节螺钉,调节块与升降部件固定连接,调节块上设有供连接调节螺钉的安装孔,调节螺钉与连接板配合以驱动连接板偏摆。


3.根据权利要求2所述的晶体切割装置,其特征在于,调节螺钉在调节时与连接板抵顶。


4.根据权利要求1所述的晶体切割装置,其特征在于,晶托连接组件包括:
第一夹紧部件,第一夹紧部件具有支撑晶托的第一支撑部,第一夹紧部件与连接板固定;
第二夹紧部件,第二夹紧部件具有支撑晶托的第二支撑部,第二夹紧部件与连接板固定,第一夹紧部件与第二夹紧部件之间...

【专利技术属性】
技术研发人员:王永平徐仲高李阳
申请(专利权)人:常州顺钿精密科技有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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