半导体硅晶圆片切割浆料的在线回收装置及其回收工艺制造方法及图纸

本发明专利技术一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置及其回收工艺，所述装置包含有：废浆料调配模组(1)，导入废浆料并进行密度调节；固液分离模组(2)，将废浆料调配模组(1)中的废浆料分离出固态物质和液态物质，并对固态物质进行调和后输入成品浆料储存罐(3)，液态物质经滤液过滤模组(6)进行过滤回收，再生浆料转运模组(5)，将新浆料储存罐(4)中的新浆料导入成品浆料储存罐(3)并搅拌混合均匀后泵入再生浆料转运模组(5)导出使用。本发明专利技术一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置及其回收工艺，能够有效提供浆料回收质量并释放劳动力。

On line recovery device and recovery process of cutting slurry for semiconductor silicon wafer

【技术实现步骤摘要】
半导体硅晶圆片切割浆料的在线回收装置及其回收工艺
本专利技术涉及一种半导体硅晶圆片切割工艺中浆料的在线回收利用装置及其回收工艺，属于环保分离

技术介绍
目前，在半导体硅晶圆片切割的生产过程中，线切割机对硅晶圆片切割的效果与切割浆料的性能有着不可分割的关系，因此，浆料是硅晶圆片切割过程中的重要耗材；为降低生产成本和保护环境，硅晶圆片制造企业在硅晶圆片切割过程中，对切割浆料进行在线回收再利用；常规企业的做法是通过收集桶收集废浆料后，统一通过有资质的企业进行委外处理；但是这样一来效率低下，且增加了企业的成本；为此，诸多企业开始研究在线回收利用的方式以提高回收效率、降低回收成本；如“英利能源(中国)有限公司”申请的中国专利CN201420279128.1“一种砂浆在线回收系统”，其“设计有第一砂浆储存罐和第二砂浆储存罐，其中第一砂浆储存罐为大容量旧砂浆储存罐，第二浆料储存罐为再生砂浆存储罐，将其分别与砂浆在线回收设备的旧砂浆储存罐和再生砂浆存储罐相串联，可实现对砂浆在线回收设备供给旧砂浆和再生砂浆的储存，具有存储，自动供给旧砂浆、再生砂浆，过滤，搅拌等功能，从而起到稳定车间生产的作用。”，其通过在线方式实时对浆料进行回收利用，但是，实际使用中发现该方式的回收处理效果较差，回收浆料的质量不尽如人意；为此，亟需一种能够有效提高回收浆料质量的回收装置及其回收工艺。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述不足，提供一种能够有效提高浆料回收质量的半导体硅晶圆片切割浆料的在线回收装置及其回收工艺。>本专利技术的目的是这样实现的：一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，所述装置包含有废浆料调配模组、固液分离模组和成品浆料储存罐，所述固液分离模组包含有前加热器、离心机、落料罐和调和罐；废浆料调配模组的废浆料调和罐经泵将废浆料泵入前加热器的进料端，所述前加热器的出料端连通至离心机的进料端，所述离心机的固态物质出料口连通至落料罐，落料罐经泵连通至调和罐，所述调和罐经泵连通至成品浆料储存罐。一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，所述装置包含有废浆料调配模组、固液分离模组和成品浆料储存罐，所述固液分离模组设置有两组，每组固液分离模组均包含有前加热器、离心机、落料罐和调和罐；两组固液分离模组的前加热器的进料端经三通阀与废砂浆调配模组的废砂浆调和罐相连通；所述前加热器的出料端连通至离心机的进料端，所述离心机的固态物质出料口连通至落料罐，落料罐经泵连通至调和罐，两组固液分离模组的调和罐经三通阀与成品砂浆储存罐相连通，且一固液分离模组的调和罐经三通阀与另一固液分离模组的前加热器相连通。本专利技术一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，所述离心机的液态物质经滤液过滤模组进行过滤回收；上述离心机的液态物质出料口连通至脏液箱，所述脏液箱经管路与闭环三通阀的一进液口相连通，该闭环三通阀的另一进液口与压滤液箱相连通，该闭环三通阀的出液口经泵连通至加热器的进液口，所述加热器的出液口连通至压滤机的进液口，该压滤机的出液口经管路连通至分液三通阀的进液口，且压滤机和分液三通阀的进液口之间的管路上串接有在线浊度仪，该分液三通阀的一个出液口连通至脏液箱，另一出液口连通至压滤液箱，所述压滤液箱的底部经管路与循环三通阀的一进液口相连通，该循环三通阀的另一进液口与冷却精滤液箱相连通，该循环三通阀的出液口经过滤器泵入换热器的介质一进液口，该换热器的介质一出液口连通至冷却精滤液箱。本专利技术一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，所述废浆料调配模组包含有废浆料调和罐和废浆料精滤器，废浆料精滤器的进料端经泵连通至废浆料源，废浆料精滤器的出料端连通至废浆料调和罐；本专利技术一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，所述废浆料调和罐、落料罐、调和罐、成品浆料储存罐和新浆料储存罐的顶部压盖上均安装搅拌电机，且搅拌电机的输出轴竖向向下穿过压盖后插置于罐体内的一端上套装有搅拌桨叶。本专利技术一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，所述废浆料调和罐、落料罐、调和罐、成品浆料储存罐和新浆料储存罐均与轴流风机相连通。本专利技术一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，所述调和罐上安装有一循环调和泵，该循环调和泵的进料端和出料端分别连接有进料管和出料管，且进料管穿过调和罐的顶部压盖后插置于罐体底部，出料管穿接在调和罐的顶部压盖上；上述进料管或出料管上穿接有质量流量计。本专利技术一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，再生浆料转运模组包含有后精滤器和浆料搅拌罐，成品浆料储存罐经泵将成品浆料泵入后精滤器的进料端，后精滤器的出料端将过滤后的成品浆料输入浆料搅拌罐中。一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收工艺，所述工艺步骤为：移动储罐收集废浆料后运输至废浆料调配模组旁，移动储罐内的废浆料泵入废浆料精滤器过滤后输送至废浆料调和罐内，清液泵入废浆料调和罐内对废浆料进行密度调节至目标要求，随后废浆料调和罐内的废浆料泵入固液分离模组；固液分离模组有三种工作模式：当两组固液分离模组均正常工作时；废浆料经前一组固液分离模组的前加热器加热后进入离心机进行固液分离，液态物质自流至滤液过滤模组的脏液箱，固态物质掉落至落料罐内进行搅拌，落料罐内预先导入清液进行铺底，搅拌后的固态物质泵入调和罐内与泵入的清液进行调和后泵入后一组固液分离模组的前加热器后，再次经后一组固液分离模组的离心机将分离出的固态物质依次经落料罐和调和罐后泵入成品浆料储存罐；当前一组固液分离模组正常工作，后一组固液分离模组停止工作时；废浆料经前一组固液分离模组的前加热器加热后进入离心机进行固液分离，液态物质自流至滤液过滤模组的脏液箱，固态物质掉落至落料罐内进行搅拌，落料罐内预先导入清液进行铺底，搅拌后的固态物质泵入调和罐内与泵入的清液进行调和后，抽取前一组固液分离模组的调和罐内的浆料经前一组固液分离模组的前加热器加热后进入离心机进行二次固液分离，液态物质自流至滤液过滤模组的脏液箱，固态物质掉落至落料罐内进行搅拌，搅拌后的混合浆料泵入调和罐内搅拌后泵入成品浆料储存罐；当前一组固液分离模组停止工作，后一组固液分离模组正常工作时；废浆料泵入后一组固液分离模组的前加热器加热后进入离心机进行固液分离，液态物质自流至滤液过滤模组的脏液箱，固态物质掉落至落料罐内进行搅拌，落料罐内预先导入清液进行铺底，搅拌后的固态物质泵入调和罐内与泵入的清液进行调和后抽取后一组固液分离模组的调和罐内的浆料经后一组固液分离模组的前加热器加热后进入离心机进行二次固液分离，液态物质自流至滤液过滤模组的脏液箱，固态物质掉落至落料罐内进行搅拌，搅拌后的混合浆料泵入调和罐内搅拌后泵入成品浆料储存罐；成品浆料储存罐内泵入新浆料储存罐的新浆料混合后泵入再生浆料转运模组。本专利技术是一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，两组固液分离模组工作时，经离心机分离后的液态物质自流至滤液过滤模组的脏液箱内，脏液箱内脏液经加热器加热后通过压滤机进行压滤，压滤后的压滤液经在线浊度仪检测，当在线浊度仪检测压滤液符合要求时，通过分液三通阀将压滤液本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，其特征在于：所述装置包含有废浆料调配模组(1)、固液分离模组(2)和成品浆料储存罐(3)，所述固液分离模组(2)包含有前加热器(2.1)、离心机(2.2)、落料罐(2.3)和调和罐(2.4)；废浆料调配模组(1)的废浆料调和罐(1.1)经泵将废浆料泵入前加热器(2.1)的进料端，所述前加热器(2.1)的出料端连通至离心机(2.2)的进料端，所述离心机(2.2)的固态物质出料口连通至落料罐(2.3)，落料罐(2.3)经泵连通至调和罐(2.4)，所述调和罐(2.4)经泵连通至成品浆料储存罐(3)。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，其特征在于：所述装置包含有废浆料调配模组(1)、固液分离模组(2)和成品浆料储存罐(3)，所述固液分离模组(2)包含有前加热器(2.1)、离心机(2.2)、落料罐(2.3)和调和罐(2.4)；废浆料调配模组(1)的废浆料调和罐(1.1)经泵将废浆料泵入前加热器(2.1)的进料端，所述前加热器(2.1)的出料端连通至离心机(2.2)的进料端，所述离心机(2.2)的固态物质出料口连通至落料罐(2.3)，落料罐(2.3)经泵连通至调和罐(2.4)，所述调和罐(2.4)经泵连通至成品浆料储存罐(3)。


2.一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，其特征在于：所述装置包含有废浆料调配模组(1)、固液分离模组(2)和成品浆料储存罐(3)，所述固液分离模组(2)设置有两组，每组固液分离模组(2)均包含有前加热器(2.1)、离心机(2.2)、落料罐(2.3)和调和罐(2.4)；两组固液分离模组(2)的前加热器(2.1)的进料端经三通阀与废砂浆调配模组(1)的废砂浆调和罐(1.1)相连通；所述前加热器(2.1)的出料端连通至离心机(2.2)的进料端，所述离心机(2.2)的固态物质出料口连通至落料罐(2.3)，落料罐(2.3)经泵连通至调和罐(2.4)，两组固液分离模组(2)的调和罐(2.4)经三通阀与成品砂浆储存罐(3)相连通，且一固液分离模组(2)的调和罐(2.4)经三通阀与另一固液分离模组(2)的前加热器(2.1)相连通。


3.如权利要求1或2所述一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，其特征在于：所述离心机(2.2)的液态物质经滤液过滤模组(6)进行过滤回收；上述离心机(2.2)的液态物质出料口连通至脏液箱(6.1)，所述脏液箱(6.1)经管路与闭环三通阀(6.9)的一进液口相连通，该闭环三通阀(6.9)的另一进液口与压滤液箱(6.4)相连通，该闭环三通阀(6.9)的出液口经泵连通至加热器(6.2)的进液口，所述加热器(6.2)的出液口连通至压滤机(6.3)的进液口，该压滤机(6.3)的出液口经管路连通至分液三通阀(6.8)的进液口，且压滤机(6.3)和分液三通阀(6.8)的进液口之间的管路上串接有在线浊度仪(6.7)，该分液三通阀(6.8)的一个出液口连通至脏液箱(6.1)，另一出液口连通至压滤液箱(6.4)，所述压滤液箱(6.4)的底部经管路与循环三通阀(6.10)的一进液口相连通，该循环三通阀(6.10)的另一进液口与冷却精滤液箱(6.6)相连通，该循环三通阀(6.10)的出液口经过滤器泵入换热器(6.5)的介质一进液口，该换热器(6.5)的介质一出液口连通至冷却精滤液箱(6.6)。


4.如权利要求1或2所述一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，其特征在于：所述废浆料调配模组(1)包含有废浆料调和罐(1.1)和废浆料精滤器(1.2)，废浆料精滤器(1.2)的进料端经泵连通至废浆料源，废浆料精滤器(1.2)的出料端连通至废浆料调和罐(1.1)。


5.如权利要求4所述一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，其特征在于：所述废浆料调和罐(1.1)、落料罐(2.3)、调和罐(2.4)、成品浆料储存罐(3)和新浆料储存罐(4)的顶部压盖上均安装搅拌电机，且搅拌电机的输出轴竖向向下穿过压盖后插置于罐体内的一端上套装有搅拌桨叶。


6.如权利要求4所述一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，其特征在于：所述废浆料调和罐(1.1)、落料罐(2.3)、调和罐(2.4)、成品浆料储存罐(3)和新浆料储存罐(4)均与轴流风机相连通。


7.如权利要求1或2所述一种半导体硅晶圆片切割浆料在线回收装置，其特征在于：所述调和罐(2.4)上安装有一循环调和泵(2.4.1)，该循环调和泵(2.4.1)的进料端和出料端分别连接有进料管和出料管，且进料管穿过调和罐(2.4)的顶部压盖后插置于罐体底部，出料管穿接在调和罐(2.4)的顶部压盖上；上述进料管或出料管上穿接有质量流量计。
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【专利技术属性】
技术研发人员：杨东祥，凌海，徐健，陈磊，
申请(专利权)人：江阴东为资源再生技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32