【技术实现步骤摘要】
磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头
本技术涉及真空镀膜设备，特别是涉及磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头。
技术介绍
旋转阴极是磁控溅射真空镀膜设备最主要的部件，它主要包括靶材和端头，其中端头用于驱动靶材旋转以及引入电极和冷却水。如CN209144248U公开了了一种旋转阴极，主要解决水密封问题。又如CN107058965公开了一种内置旋转阴极结构，包括阴极门，所述阴极门的一侧下端设置有电机座，电机座的上端设置有靶电机，靶电机固定安装在电机座上，电机座的下端设置有同步轮；所述阴极门的另一侧设置有下端座和上端座；所述下端座的上端设置有下端盖、靶管和上端盖，同步轮与下端盖固定连接；所述下端盖的下端设置有磁流体，其中所述的下端盖即是驱动装置。再如CN201746585U公开了一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动装置，包括聚甲醛基座、驱动头壳体、驱动轴、驱动齿轮、从动齿轮，所述驱动齿轮设置在驱动轴下端，所述驱动齿轮为锥齿轮，所述从动齿轮为锥形齿轮，所述驱动齿轮与从动齿轮通过锥齿轮传动方式进行传动。以上专利公开的旋转...
【技术保护点】
1.一种磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，包括用于承载靶材的法兰以及端部与法兰连接的旋转轴，所述旋转轴为中空结构且内部设置有伸入法兰的水管，所述水管的空腔与水管和旋转轴之间的间隙连通构成冷却水循环通道，其特征在于，所述法兰的内周面设置有环形凸起，所述水管上套设有可沿轴向滑动的环形接头以及抵住环形接头使其与环形凸起密封配合的复位弹簧，所述环形接头与水管之间具有供冷却水通过的间隙。/n
【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，包括用于承载靶材的法兰以及端部与法兰连接的旋转轴，所述旋转轴为中空结构且内部设置有伸入法兰的水管，所述水管的空腔与水管和旋转轴之间的间隙连通构成冷却水循环通道，其特征在于，所述法兰的内周面设置有环形凸起，所述水管上套设有可沿轴向滑动的环形接头以及抵住环形接头使其与环形凸起密封配合的复位弹簧，所述环形接头与水管之间具有供冷却水通过的间隙。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，其特征在于，所述环形凸起的下端面与环形接头密封配合，所述环形凸起的上端面为具有汇流功能的斜面。
3.根据权利要求1所述的磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，其特征在于，包括套设在水管上的轴环。
4.根据权利要求3所述的磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，其特征在于，包括套设在水管上分别紧贴轴环上下两个端面的紧固环和垫环，所述复位弹簧的上下两端分别抵住环形接头和轴环。
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【专利技术属性】
技术研发人员：刘杰，来华杭，施成亮，周海龙，俞峰，
申请(专利权)人：浙江上方电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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