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本实用新型提供了一种磁控溅射真空镀膜设备旋转阴极端头，包括用于承载靶材的法兰以及端部与法兰连接的旋转轴，所述旋转轴为中空结构且内部设置有伸入法兰的水管，所述水管的空腔与水管和旋转轴之间的间隙连通构成冷却水循环通道，所述法兰的内周面设置有环形...
该专利属于浙江上方电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江上方电子装备有限公司授权不得商用。

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