一种用于红外测水仪的双通道滤光片制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于红外测水仪的双通道滤光片，包括基板，在基板的二个表面，通过物理气相沉积方法分别多次交替镀制高折射率锗膜层和低折射率一氧化硅膜层的膜系。由于采用了合理的多层膜系设计，使得在一片滤光片的基板上就可以实现１．７８μｍ和２．１３μｍ两个水通道的滤波作用，提高了探测器的利用效率，降低了红外测水仪器结构的复杂性和成本。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学元件，具体是指一种应用于纺织、造纸、烟草等行业的水分、水汽探测的双通道滤光片。
技术介绍
现代工业生产中，用以检测和控制物料中的水分含量的红外测水仪是一种应用非常广泛的仪器。该仪器的核心元件之一是红外光学薄膜干涉滤光片。在目前生产的各种红外水分仪中，2.13μm波长处的水特征吸收波段常常被用做检测水分含量比较低的物料，与之相配合使用的比较波长则取在1.78μm处，这两个波长处的窄带滤光片带宽一般在2-3％左右。传统的红外测水仪是用二片不同波段的带通滤光片与探测器配合使用。这种方案的优点是对滤光片设计要求简单，但两个滤光片所需要的视场比较大，导致探测器利用效率比较低，仪器结构复杂。
技术实现思路
基于上述已有技术存在的问题，本技术的目的是提供一种2.13μm和1.78μm两个通带在同一滤光片上实现的双通道滤光片。为了达到上述目的，本技术通过以下技术方案实现即，用抛光硅片作基板，在其的两个表面多次交替镀制锗膜层和一氧化硅膜层，其中第一表面膜系采用Ns|1.086L 1.024H 8.902L 1.041H 1.156L 1.326H.497L 1.114H 8.948L 1.本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于红外测水仪的双通道滤光片，包括：基板（１），其外形和厚度可视实际需要而定，在基板（１）的两个表面，分别多次交替镀有高折射率锗膜层（２）和低折射率一氧化硅膜层（３）的膜系，其特征在于：　　　　第一表面膜系：　　　　Ｎ↓［ｓ］｜１．０８６Ｌ１．０２４Ｈ８．９０２Ｌ１．０４１Ｈ１．１５６Ｌ１．３２６Ｈ．４９７Ｌ１．１１４Ｈ８．９４８Ｌ１．０９９Ｈ１．４５７Ｌ．４１４Ｈ．７４８Ｌ．４６３Ｈ．５５Ｌ．６３７Ｈ．６３４Ｌ．５４９Ｈ．５５７Ｌ．６４５Ｈ．６４７Ｌ．５５３Ｈ．５４２Ｌ．６４２Ｈ．６６６Ｌ．５１９Ｈ．４９Ｌ．６０６Ｈ１．１８８Ｌ｜Ｎ↓［ｏ］；　　　　式中的符号含义分别为：Ｎ↓［ｓ］表示硅...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王懿，张风山，刘定权，成效春，于天燕，安栋梁，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]