全自动高灵敏度氦质谱检漏仪制造技术

本实用新型专利技术涉及一种全自动高灵敏度氦质谱检漏仪，包括分子泵、机械泵、质谱室、放大器、检漏阀和电控系统，机械泵通过管路和检漏阀与分子泵连接，分子泵通过抽气口与质谱室连接，其特征在于所述分子泵在上中下部位设三个出气口，分别与其管路和检漏阀连接，构成微漏气流通路、中漏气流通路和大漏气流通路。质谱室中的磁铁，其内侧各放置了一块纯铁，纯铁的形状为半圆台形，磁铁所产生的磁场为１８０°非均匀磁场。本实用新型专利技术离子聚焦好，灵敏度高，量程转换方便，测量范围宽。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
全自动高灵敏度氦质谱检漏仪
本技术涉及一种分析仪器设备，具体涉及一种氦质谱检漏仪。
技术介绍
氦质谱检漏仪是一种常规的分析仪器设备，国内外均生产。但目前已有的氦质谱检漏仪的缺点是检漏范围窄，检测灵敏度差，自动化程度和检测效率低。
技术实现思路
为了克服已有氦质谱检漏仪检漏范围窄，灵敏度差及自动化程度低的问题，本技术提供一种全自动高灵敏度氦质谱检漏仪、其检漏范围相对较宽。本技术技术方案：一种全自动高灵敏度氦质谱检漏仪，包括分子泵、机械泵、质谱室、放大器、检漏阀和电控系统，机械泵通过管路和检漏阀与分子泵连接，分子泵通过抽气口与质谱室连接，其特征在于所述分子泵在上中下部位设三个出气口，分别与其管路和检漏阀连接，构成微漏气流通路、中漏气流通路和大漏气流通路。所述质谱室中的磁铁，其内侧各放置了一块纯铁，纯铁的形状为半圆台形，磁铁所产生的磁场为180°非均匀磁场。所述放大器设置在质谱室真空环境中。离子源内设两根灯丝。所述检漏阀为电磁阀。本技术有益效果1、使用了180°的非均匀磁场，使离子聚焦更好，提高了灵敏度。2、将放大器放在质谱室真空环境中，增强了屏蔽，减少了外界环境的干扰，进一步提高了放大器的增益，提高了接收灵敏度。3、由于采用了三个出气口的分子泵，使量程转换更加方便，测量范围宽。4、离子源灯丝采用双灯丝，若以一根断了，可自动切换到另外一根，提高了-->仪器的使用时间。5、采用单片机控制，操作方便，正常情况下，只需按“检漏”和“放气”两个按键，提高了仪器的自动化程度。6、ED光柱和数码管双重显示，直接显示漏率。7、放气时分子泵、灯丝处于休眠状态，降低了能耗，提高了仪器的使用寿命。附图说明下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明。图1为本技术结构示意图。图2为本技术磁铁示意图。图中1、分子泵，2、下出气口，3、规管，4、中出气口，5、电磁阀A，6、电磁阀B，7、电磁阀C，8、机械泵，9、电磁阀D，10、电磁阀E，11、标准漏孔，12、电磁阀F，13、真空计，14、检漏口，15、上出气口，16、质谱室，17、磁铁，18、放大器，19、分子泵抽气口，20、极靴，21、横轭，22、立板，23、螺钉。具体实施方式参见图1，本技术包括分子泵1，机械泵8，质谱室16，放大器18和电磁阀A-F。机械泵8通过管路和电磁阀与分子泵1连接，分子泵1通过抽气口19与质谱室连接。分子泵1设上、中、下三个出气口15、4、2，上出气口15通过管路与电磁阀A5连接，构成微漏气流通路；中出气口4通过管路与电磁阀B6连接，构成中漏气流通路；下出气口2通过管路与电磁阀C7连接，构成大漏气流通路，电磁阀由微电脑控制来实现量程自动切换。放大器设置在质谱室真空环境中。磁铁17内侧各放置了一块纯铁，纯铁的形状为半圆台形，称为极靴20，使磁铁产生180°的非均匀磁场，磁场强度分布(偏差±20)为：A1500高斯，B2300高斯，C1800高斯，D1200高斯。如图2所示。离子源采用双灯丝。电控系统由控制模块、离子源供电模块、显示操作模块和数据处理模块组成，控制模块以单片机为核心，控制分子泵1的工作、离子源加电及各电磁阀的通断。离子-->源供电模块为离子源提供各种工作电压以及灯丝的保护；显示操作模块为用户提供操作检漏仪的按键及显示检漏仪的工作状态、真空值及漏率；数据处理模块检测各种信号(如代表漏率的氦离子)并加以放大处理。本技术的工作原理：首先启动机械泵8，由规管3检测分子泵1的下出气口2处真空，当真空达到一定的值时自动启动分子泵1，分子泵1启动正常后，质谱室16内离子源加电，离子源内有两根灯丝，若一根灯丝断了可自动切换到另一根，同时检测质谱室高真空，若真空度不够，则自动保护灯丝，等待几分钟，直到高真空符合要求，则提示准备好，等待检漏。检漏时关断电磁阀C7，打开电磁阀D9，通过检漏口14对工件抽真空，同时由真空计13测量检漏口14的真空值，根据真空值大小，打开相应的电磁阀来进行检漏。因为分子泵1的三个出气口对氦气的压缩比不一样，当大漏时，打开电磁阀C7；当中漏时，打开电磁阀B6；当微漏时，打开电磁阀A5；当要定标时，打开电磁阀E10，则由标准漏孔11的漏率来定标。检漏时氦气由分子泵1逆扩散到质谱室进行电离，电离后进入电磁铁17产生的180°的非均匀磁场进行分离，同时180°的非均匀磁场在“Z”方向有聚焦作用，减少了离子损失，使灵敏度得到提高。为了进一步提高灵敏度，将放大器18放在质谱室16，减少外界环境的干扰。检漏结束放气时，电磁阀F12打开，空气进入，从而可以拿走工件。整个工作过程，由以微电脑为核心的电气系统来控制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种全自动高灵敏度氦质谱检漏仪，包括分子泵、机械泵、质谱室、放大器、检漏阀和电控系统，机械泵通过管路和检漏阀与分子泵连接，分子泵通过抽气口与质谱室连接，其特征在于所述分子泵在上中下部位设三个出气口，分别与其管路和检漏阀连接，构成微漏气流通路、中漏气流通路和大漏气流通路。

【技术特征摘要】
1、一种全自动高灵敏度氦质谱检漏仪，包括分子泵、机械泵、质谱室、放大器、检漏阀和电控系统，机械泵通过管路和检漏阀与分子泵连接，分子泵通过抽气口与质谱室连接，其特征在于所述分子泵在上中下部位设三个出气口，分别与其管路和检漏阀连接，构成微漏气流通路、中漏气流通路和大漏气流通路。2、根据权利要求1所述的全自动高灵敏度氦质谱检漏仪，其特征在于所述质谱室中的磁铁，...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄文平，罗明生，
申请(专利权)人：臧牧，
类型：实用新型
国别省市：34[中国|安徽]