液晶显示玻璃的透明导电层和定向膜的厚度和折射率的测量方法技术

本发明专利技术涉及一种在液晶显示玻璃基片上，对透明导电层和定向膜的厚度和折射率进行测量的方法，其过程是将待测的液晶显示玻璃在去掉透明导电层或定向膜后，直接放在另一块同样的玻璃基片上，然后应用椭偏仪，在两个不同的入射角下测量椭偏参数，并计算出整体样品的两个不同的复折射率。将整体样品中的一块玻璃换成含有透明导电层或定向膜的液晶显示玻璃，应用椭偏仪，在同样的两个入射角下测量出椭偏参数，以两组本底的复折射率为已知参数，即可计算出待测薄层的折射率和厚度。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种在液晶显示玻璃基片上，对透明导电层和定向膜的厚度和折射率进行测量的方法，属物理测量
已有技术中，测量液晶显示玻璃基片上的透明导电层和定向膜的厚度和折射率，一般都是采用椭偏方法，即应用椭圆偏光仪，将激光光束依次通过起偏器和λ/4波片，以一定入射角投射在样品表面上，反射光通过检偏器而后进行探测椭偏参数△和ψ。但是在这里直接采用椭偏方法有如下问题1 由于液晶显示玻璃在1毫米厚左右，衬底的反射严重干扰测量。为此，通常采用下述办法克服(1)玻璃背面用金刚砂粗磨打毛缺点是它是破坏性的，而且与操作有关，重复性差;(2)加匹配液体即另选一块较厚的折射率相同的玻璃片上加一层折射率一样的液体，再放上待测液晶显示玻璃来测量，缺点是操作麻烦，而且匹配介质要因样品不同而异。2 液晶显示玻璃实际上是多层膜系统，是由玻璃/SiOx阻钠层/透明导电层/定向膜组成，这类多层膜系统对椭偏方法是困难的，所以通常将待测薄层(例如定向层)另外涂敷在别的厚玻璃上来测量，但是由于表面性质的差异，这个方法不理想;或者要求准确知道每一层其它膜的厚度和折射率，在此条件下来计算最上一层待测膜的厚度和折射率，这个方法的条件苛刻，而且SiOx阻钠层的参数难于准确预知，这个方法的累计误差也大。3 忽略了中间的SiOx阻钠层的影响，这会引入可观的误差，本专利技术的目的是设计一种操作简便、精确度高的测量方法，该测量方法不必将待测膜涂敷或镀在别的衬底上，而是直接在液晶显示玻璃上进行测量。本专利技术的内容是1、测量液晶显示玻璃上的透明导电层或定向膜的厚度和折射率，由下列各步骤完成(1)、将两块待测液晶显示玻璃背对背迭在一起，并放在椭偏仪的平台上，下面一块液晶显示玻璃的透明导电层向下，上面一块液晶显示玻璃的透明导电层已被腐蚀掉，如附图说明图1所示。(2)、应用椭偏方法，在某一入射角φ(例如60°)下测量椭偏参数△和ψ。(3)、将上述(1)中两块迭放一起的液晶显示玻璃当作整体样品根据ψ和测量值△和ψ，利用下述联立方程(1)解出n和k，于是得出整体样品的复折射率n-jk，即步骤(6)中的N2; (4)、将上述(1)中去掉透明导电层的液晶显示玻璃(上面的一块)，换成一块含有待测透明导电层或待测定向膜的玻璃，使导电层或定向膜向上。如图2所示。(5)、再次应用椭偏方法，在同(2)中一样的入射角下，测量一组新的椭偏参数△'和ψ'。(6)、将上述(3)得出的N2＝n-jk作为衬底的折射率，如图2所示，根据下列复数方程(2)计算待测透明导电层或待测定向膜的折射率N1和厚度d 式(2)中的rip、ris(i＝1、2)和δ由下式定义 式(3)中的N1和φi(i＝0，1，2)分别为N0＝1，φ0＝入射角φN2＝n-jk，N1待测导电层或待测定向膜的折射率，Nisinφi＝N0sinφ0(i＝1，2) (4)从入射角φ，入射波长λ，已知的N2＝n-jk，以及新测量的△'和φ'，就可以计算出N1和d，其中d为一系列周期值。(7)、仍然应用椭偏方法，但是采用一个不同于上述φ的入射角φ＊(例如65°)，重复上述(1)-(6)的测量和计算，将再得到另一组N＊1和d＊(8)、待测透明导电层或待测定向膜的折射率由N1和N＊1的平均值确定，其厚度由d和d＊(皆为周期值)的最小最接近值确定。本专利技术实施例的技术条件及指标 表一 本专利技术的低温一次净化法的优点是降低了用锑化合物除钴、镍温度，可大幅度降低能耗;铜、镉、钴、镍及其它杂质同槽一次净化，将净化时间由通常的2-3小时缩短为30-60分钟，提高了生产能力，可降低建设投资;可减少溶液机械损失，提高金属回收率;可节约锌粉，降低生产成本。权利要求1.一种测量液晶显示玻璃上的透明导电层或定向膜的厚度和折射率的方法，其特征在于测量方法包括下列各步骤(1)、将两块待测液晶显示玻璃背对背迭在一起，并放在椭偏仪的平台上，下面一块液晶显示玻璃的透明导电层向下，上面一块的透明导电层已被腐蚀掉；(2)、应用椭偏方法，选定一入射角φ，测量椭偏参数Δ和ψ；(3)、将上述(1)中两块迭放一起的液晶显示玻璃当作整体样品，根据φ和测量值Δ和ψ，利用下述联立方程(1)解出n和k，则整体样品的复折射率为n-jk，此即下述步骤(6)中的N2；(4)、将步骤(1)中的上面一块液晶显示玻璃换成一块含有待测透明导电层或待测定向膜的玻璃，使导电层或定向膜向上；(5)、应用椭偏方法，采用与步骤(2)相同的入射角φ，测量一组新的椭偏参数Δ′和ψ′；(6)、将上述步骤(3)得出的整体样品的折射率N2=n-jk作为衬底的折射率，利用下述复数方程(2)计算待测透明导电层或待测定向膜的折射率N1和厚度d式(2)中的rip、ris(i=1、2)和δ由下式定义式(3)中的Ni和φi(i=0，1，2)分别为No=1，φo=入射角φN2=n-jk，N1为待测导电层或待测定向膜的折射率，Nisinφi=Nosinφo(i=1，2)……(4)从入射角φ，入射波长λ，已知的N2=n-jk，以及新测量的Δ′和ψ′，就可以计算出N1和d，其中d为一系列周期值；(7)、仍然应用椭偏方法，采用一个不同于上述φ的入射角φ*，重复上述(1)-(6)的测量和计算，将再得出另一组N*1和d*；(8)、待测透明导电层或待测定向膜的折射率由N1和N*1的平均值确定，其厚度由d和d*(皆为周期值)的最小最接近值确定。2.如权利要求1所述的测量方法，其特征在于其中所述的φ＝60°，φ＊＝65°。全文摘要本专利技术涉及一种在液晶显示玻璃基片上，对透明导电层和定向膜的厚度和折射率进行测量的方法，其过程是将待测的液晶显示玻璃在去掉透明导电层或定向膜后，直接放在另一块同样的玻璃基片上，然后应用椭偏仪，在两个不同的入射角下测量椭偏参数，并计算出整体样品的两个不同的复折射率。将整体样品中的一块玻璃换成含有透明导电层或定向膜的液晶显示玻璃，应用椭偏仪，在同样的两个入射角下测量出椭偏参数，以两组本底的复折射率为已知参数，即可计算出待测薄层的折射率和厚度。文档编号G01N21/41GK1087988SQ9311792公开日1994年6月15日 申请日期1993年9月30日 优先权日1993年9月30日专利技术者王新久 申请人:清华大学 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量液晶显示玻璃上的透明导电层或定向膜的厚度和折射率的方法，其特征在于测量方法包括下列各步骤：（１）、将两块待测液晶显示玻璃背对背迭在一起，并放在椭偏仪的平台上，下面一块液晶显示玻璃的透明导电层向下，上面一块的透明导电层已被腐蚀掉；（２）、应用椭偏方法，选定一入射角φ，测量椭偏参数Δ和ψ；（３）、将上述（１）中两块迭放一起的液晶显示玻璃当作整体样品，根据φ和测量值Δ和ψ，利用下述联立方程（１）＊＊＊解出ｎ和ｋ，则整体样品的复折射率为ｎ－ｊｋ，此即下述步骤（６）中的Ｎ↓［２］；（４）、将步骤（１）中的上面一块液晶显示玻璃换成一块含有待测透明导电层或待测定向膜的玻璃，使导电层或定向膜向上；（５）、应用椭偏方法，采用与步骤（２）相同的入射角φ，测量一组新的椭偏参数Δ′和ψ′；（６）、将上述步骤（３）得出的整体样品的折射率Ｎ↓［２］＝ｎ－ｊｋ作为衬底的折射率，利用下述复数方程（２）计算待测透明导电层或待测定向膜的折射率Ｎ↓［１］和厚度ｄ：＊＊＊式（２）中的ｒ↓［ｉｐ］、ｒ↓［ｉｓ］（ｉ＝１、２）和δ由下式定义：＊＊＊式（３）中的Ｎ↓［ｉ］和φ↓［ｉ］（ｉ＝０，１，２）分别为：Ｎ↓［ｏ］＝１，φ↓［ｏ］＝入射角φＮ↓［２］＝ｎ－ｊｋ，Ｎ↓［１］为待测导电层或待测定向膜的折射率，Ｎ↓［ｉ］ｓｉｎφ↓［ｉ］＝Ｎ↓［ｏ］ｓｉｎφ↓［ｏ］（ｉ＝１，２）……（４）从入射角φ，入射波长λ，已知的Ｎ↓［２］＝ｎ－ｊｋ，以及新测量的Δ′和ψ′，就可以计算出Ｎ↓［１］和ｄ，其中ｄ为一系列周期值；（７）、仍然应用椭偏方法，采用一个不同于上述φ的入射角φ↑［＊］，重复上述（１）－（６）的测量和计算，将再得出另一组Ｎ↓［１］↑［＊］和ｄ↑［＊］；（８）、待测透明导电层或待测定向膜的折射率由Ｎ↓［１］和Ｎ↓［１］↑［＊］的平均值确定，其厚度由ｄ和ｄ↑［＊］（皆为周期值）的最小最接近值确定。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王新久，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]