【技术实现步骤摘要】
物质的热膨胀系数是重要的物理性能，对工程技术应用和科学研究工作都有重要意义。近年来，非晶态材料、表面涂层、镀膜材料、半导体薄膜材料等发展很快，成为材料科学研究的热点。大规模集成电路与微电子技术、硬质膜、超导膜、空间站所用热控涂层材料等，在高技术中起着重要作用。当应用于受热、高温条件下，热膨胀性能至关重要。例如，空间站所用涂层材料必须要使涂层材料与基体材料之间的热应力减小，使其不至于在高温下剥离，因此要求两者之间的热膨胀系数尽可能接近或匹配。薄膜材料具有无钢性、易碎、易弯曲的特点，也不易得到大尺寸的试样。常规热膨胀仪如顶杆法、干涉法不能进行薄膜热膨胀的测量。目前关于薄膜热膨胀测量研究报道有X光法，但仅适用于晶态材料，且存在数据处理较繁的问题；单狭缝衍射方法，仅见到介绍其原理的会议报道，未见到仪器成型的报道；干涉牛顿环方法，误差很大，达到20％，且当薄膜与基体的热膨胀系数相近时，受到了限制；对于非晶条带，有由差动变压器法基础上改进的机械杠杆法，以及把条带卷起来形成块状样品从而进行测量的方法，但不适用厚度在15μm以下无刚性薄膜的热膨胀测量。到目前为止，未见有用于薄膜热膨...
【技术保护点】
一种热膨胀系数的非接触测量方法，包括对试样的光学放大，用固体摄像ＣＣＤ对光信号采集及光电信号的处理步骤，其特征在于：光学放大部分采用二级放大，第二级仅对第一级所成像的两个像边缘再次分别放大，并最终聚焦成像在一只ＣＣＤ上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王恒，何冠虎，周本濂，
申请(专利权)人：中国科学院金属研究所，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]
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