【技术实现步骤摘要】
一种实心球形ITO造粒粉的制备方法
本专利技术涉及氧化铟锡造粒粉领域,尤其是涉及一种实心球体ITO造粒粉的制备方法。
技术介绍
ITO薄膜导电性能良好,可见光透过率高,是一种很好的透明电极材料,被广泛应用于平板显示、太阳能电池、电致变色等领域。目前,ITO薄膜主要通过对ITO靶材进行磁控溅射得到,ITO靶材的品质决定着薄膜的性能。干法成型是制备ITO靶材常用的一种成型方法,主要是模压辅助等静压,或者直接等静压的成型工艺。造粒技术是干法成型的一项核心技术,制得的造粒粉要有良好的充模性、流动性,且缺陷少,为达到这个要求,通常要求造粒粉为实心球形,然而现有技术制备的ITO造粒粉,一般是空心苹果形居多,以致于无法得到高品质的靶材。制备实心球形造粒粉,要求浆料具有较高的粘度,但为了保证ITO粉研磨充分,通常会加入分散剂以降低浆料粘度,因此,在实际生产中,很难兼顾二者,制备出实心球形造粒粉。公开号为CN106082993A的中国专利将ITO粉造粒后破碎、分散,进行二次造粒,得到实心球形造粒,但其制备方法工艺流程较为复杂, ...
【技术保护点】
1.一种实心球形ITO造粒粉的制备方法,其特征在于,先将氧化铟粉末、氧化锡粉末与去离子水混合制成浆料,之后向其中加入分散剂并研磨充分、加入粘结剂并混合均匀,然后加热浆料或调节浆料的pH值使浆料的粘度控制在100~1500mPa·s,最后对浆料进行喷雾干燥即制得实心球形的ITO造粒粉。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种实心球形ITO造粒粉的制备方法,其特征在于,先将氧化铟粉末、氧化锡粉末与去离子水混合制成浆料,之后向其中加入分散剂并研磨充分、加入粘结剂并混合均匀,然后加热浆料或调节浆料的pH值使浆料的粘度控制在100~1500mPa·s,最后对浆料进行喷雾干燥即制得实心球形的ITO造粒粉。
2.根据权利要求1所述的一种实心球形ITO造粒粉的制备方法,其特征在于:加热浆料的具体操作为:将浆料加热至50~100℃,实时检测浆料粘度,当浆料粘度达到目标粘度后,即可停止加热。
3.根据权利要求1所述的一种实心球形ITO造粒粉的制备方法,其特征在于:调节浆料的pH值的具体操作为:向浆料中加入醋酸、硝酸或盐酸中的任意一种,使浆料的pH小于6。
4.根据权利要求1所述的一种实心球形ITO造粒粉的制备方法,其特征在于:选取粒径为10~500nm的氧化铟粉末和粒径为10~500nm的氧化锡粉末,将氧化铟粉末和氧化锡粉末按照9:1的质量比加入去离子水中,制成固含量为50~80%的浆料。
技术研发人员:师琳璞,赵延飞,薛建强,杨硕,
申请(专利权)人:中国船舶重工集团公司第七二五研究所,
类型:发明
国别省市:河南;41
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