一种衬底搬送机器人及衬底处理系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种衬底搬送机器人及衬底处理系统，包括底座，所述底座上端表面开设有容纳槽，所述容纳槽内部底端设置有支撑板，所述支撑板顶部固定设置有机体，所述底座外部四侧顶端均通过螺纹孔活动设置有螺栓，所述螺栓的一端均通过螺纹孔位于机体内部。本实用新型专利技术在容纳槽内部是通过支撑板来进行支撑机体的，在需要将机体与底座进行分离时，工作人员只需拆卸下螺栓，然后使马达进行工作带动螺杆转动就能够使移动板进行移动来带动支撑板进行同步的移动，使得机体的底端能够逐渐移动出容纳槽，避免了工作人员需要使用过多的力气将机体移动出容纳槽的步骤，节省了人力，提高了用于安装本机器人的底座的使用便利性。

【技术实现步骤摘要】
一种衬底搬送机器人及衬底处理系统
本技术涉及衬底搬送机器人
，具体为一种衬底搬送机器人及衬底处理系统。
技术介绍
以往，以机器人搬送半导体制造用晶片等衬底的技术已广泛运用。此处，在制造半导体时，实施晶片的洗净处理、成膜处理、加热处理、蚀刻处理等各种处理步骤。由于各处理步骤是以各不相同的处理装置实施，所以必须在多个处理装置之间搬送晶片。目前的衬底搬送机器人多是安装在一个底座上的，通过底座底部滚轮的设置来方便机器人的日常移动，但在需要将机器人与底座进行分离时，工作人员仍需使用较大的力来搬起机器人主体才能够完成机器人与底座的分离，比较费力。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种衬底搬送机器人及衬底处理系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种衬底搬送机器人及衬底处理系统，包括底座，所述底座上端表面开设有容纳槽，所述容纳槽内部底端设置有支撑板，所述支撑板顶部固定设置有机体，所述底座外部四侧顶端均通过螺纹孔活动设置有螺栓，所述螺栓的一端均通过螺纹孔位于机体内部，所述机体一侧设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种衬底搬送机器人及衬底处理系统，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上端表面开设有容纳槽(2)，所述容纳槽(2)内部底端设置有支撑板(3)，所述支撑板(3)顶部固定设置有机体(4)，所述底座(1)外部四侧顶端均通过螺纹孔活动设置有螺栓(5)，所述螺栓(5)的一端均通过螺纹孔位于机体(4)内部，所述机体(4)一侧设置有机器人处理器(6)，所述机体(4)与机器人处理器(6)电性连接，所述机体(4)顶部固定设置有支撑杆(7)，所述支撑杆(7)顶部通过转轴活动设置有第一连接杆(8)，所述第一连接杆(8)的一端顶部通过转轴活动设置有第二连接杆(9)，所述第二连接杆(9)的一端顶部固定设置有安...

【技术特征摘要】
1.一种衬底搬送机器人及衬底处理系统，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上端表面开设有容纳槽(2)，所述容纳槽(2)内部底端设置有支撑板(3)，所述支撑板(3)顶部固定设置有机体(4)，所述底座(1)外部四侧顶端均通过螺纹孔活动设置有螺栓(5)，所述螺栓(5)的一端均通过螺纹孔位于机体(4)内部，所述机体(4)一侧设置有机器人处理器(6)，所述机体(4)与机器人处理器(6)电性连接，所述机体(4)顶部固定设置有支撑杆(7)，所述支撑杆(7)顶部通过转轴活动设置有第一连接杆(8)，所述第一连接杆(8)的一端顶部通过转轴活动设置有第二连接杆(9)，所述第二连接杆(9)的一端顶部固定设置有安装块(10)，所述安装块(10)一侧上下两端均开设有放置槽(11)，所述放置槽(11)内部一侧均固定设置有电动推杆(12)，所述电动推杆(12)的伸缩杆端处均设置有夹板(13)，所述夹板(13)远离电动推杆(12)的一端位于安装块(10)外部。


2.根据权利要求1所述的一种衬...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱磊，
申请(专利权)人：天津弘亚模具有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12