下载一种衬底搬送机器人及衬底处理系统的技术资料

文档序号:26017329

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本实用新型公开了一种衬底搬送机器人及衬底处理系统,包括底座,所述底座上端表面开设有容纳槽,所述容纳槽内部底端设置有支撑板,所述支撑板顶部固定设置有机体,所述底座外部四侧顶端均通过螺纹孔活动设置有螺栓,所述螺栓的一端均通过螺纹孔位于机体内部。...
该专利属于天津弘亚模具有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津弘亚模具有限公司授权不得商用。

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