测量物体表面形貌的朗奇光栅纹影仪装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于物体表面形貌的测量技术领域，由光路元件及将各光路元件固定结合为一体的机械结构所组成，所说的光路元件包括激光器组件、分光镜、反射镜、准直透镜、二维朗奇光栅及摄像装置；机械结构包括连成一整体的竖套筒、横套筒、立柱、底板、导轨和导轨座；以及各光路元件的装配结构。本纹影仪装置不仅可同时获取ｘ、ｙ两方向上的面形变化梯度信息，而且具有结构紧凑、装配简单，使用方便的特点。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于物体表面形貌的测量
，特别涉及朗奇光栅纹影仪装置的结构设计。纹影仪光学系统通过光投影的明暗变化来指示被测物体表面不规则性或内部条件所产生的折射率、反射率以及透射率的变化，因此常被用来进行流体流速场分析、溶液浓度分析、表面平直度分析等。一种用于测量反射表面的纹影仪装置，包括一点光源、一分光镜、一准直镜以及一刀口空间滤波器。其工作原理为；点光源发出的光经分光镜分光后，一路经准直镜准直后照射在被测物体表面上，另一路则会聚后成像在观察屏上。从被测表面反射回来的光束再经分光镜后会聚在像平面上，若被测表面是一平面的话，反射光束将在像平面上会聚成一无限小的光斑。若反射表面是一不规则的表面，其成像则或高于、或低于焦点。在焦点处放置一刀口，则该刀口会截断一部分的反射光束。被阻断的那部分光会在观察屏上形成暗条纹，而未被阻断的那部分光则在观察屏上形成亮条纹，从而在观察屏上便形成明暗相间的干涉图形。从该图形便可来检测被测表面的部分参数。从本质上讲，纹影仪所检测的是表面高度变化在一个方向(x)上的梯度变化，为要得到另一方面(y)上的变化，要么被测物体、要么刀口需转动90°，因此x、y本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量物体表面形貌的朗奇光栅纹影仪装置，由光路元件及将各光路元件固定结合为一体的机械结构所组成，所说的光路元件包括由激光器、扩束物镜和小孔滤波器所组成激光器组件、分光镜、反射镜、准直透镜、由二维朗奇光栅构成的空间滤波器及摄像装置；所说的机械结构包括连成一整体的竖套筒、横套筒、立柱、底板、导轨和导轨座；以及小孔滤波器的二维调节机构，扩束物镜调节机构，激光器组件的装配结构，朗奇光栅与摄像装置的装配结构，反射镜调节机构；其连接关系为：安装有激光器组件的装配结构垂直连接在该横套筒的一侧，该分光镜安装在横套筒中位于激光器组件前方且与激光器组件的光轴成４５°斜角；该反射镜调节机构安装在竖套筒顶部，使该反...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王伯雄，刘兴占，罗秀芝，束继祖，覃刚，萧晴，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]