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测量物体表面形貌的朗奇光栅纹影仪装置制造方法及图纸
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文档序号:2600672
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本发明属于物体表面形貌的测量技术领域,由光路元件及将各光路元件固定结合为一体的机械结构所组成,所说的光路元件包括激光器组件、分光镜、反射镜、准直透镜、二维朗奇光栅及摄像装置;机械结构包括连成一整体的竖套筒、横套筒、立柱、底板、导轨和导轨座;...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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