一种传送装置和加工设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种传送装置和加工设备。该传送装置包括导轮、导轨和驱动件，导轮与驱动件活动连接，导轮在驱动件的驱动下转动；导轨活动设置在导轮上，导轨随导轮的转动而移动；导轨用于设置待传送件；传送装置还包括减震机构，导轮设置在减震机构上。该传送装置，通过设置减震机构，不仅能对传送过程中的待传送件形成支撑，而且能缓冲导轮传送待传送件过程中的震动，从而能够吸收或释放至少部分震动能量，进而减小或消除了震动对待传送件的损坏，提高了待传送件的工艺品质。

【技术实现步骤摘要】
一种传送装置和加工设备
本专利技术涉及半导体器件制备
，具体地，涉及一种传送装置和加工设备。
技术介绍
在半导体器件的制备工艺中，经常会涉及半成品的半导体器件需要在各个工艺腔室内穿行，以完成其在各个工艺腔室内的不同制备工艺。半导体器件通过传送设备传送至不同的工艺腔室中。传统的传送设备是通过固定设置在传送设备中的导轮实现对半导体器件的传送，即通常将半导体器件固定于载板上，载板上设置有导轨，导轨与导轮相互咬合，从而在导轮转动的带动下，将固定有半导体器件的载板传送至目标工艺腔室内。目前的传送设备由于其安装误差，通常在半导体器件的传送过程中不可避免地会产生震动，由于导轮是固定安装，所以在载板的传送过程中，震动很容易造成半导体器件的损坏。如何减小传送过程中震动对半导体器件的损坏已成为目前亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种传送装置和加工设备。该传送装置不仅能对传送过程中的待传送件形成支撑，而且能缓冲导轮传送待传送件过程中的震动，从而能够吸收或释放至少部分震动能量，进本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传送装置，其特征在于，所述传送装置包括导轮、导轨和驱动件，所述导轮与所述驱动件活动连接，所述导轮在所述驱动件的驱动下转动；所述导轨活动设置在导轮上，所述导轨随所述导轮的转动而移动,所述导轨用于设置待传送件；所述传送装置还包括减震机构，所述导轮设置在所述减震机构上。/n

【技术特征摘要】
1.一种传送装置，其特征在于，所述传送装置包括导轮、导轨和驱动件，所述导轮与所述驱动件活动连接，所述导轮在所述驱动件的驱动下转动；所述导轨活动设置在导轮上，所述导轨随所述导轮的转动而移动,所述导轨用于设置待传送件；所述传送装置还包括减震机构，所述导轮设置在所述减震机构上。


2.根据权利要求1所述的传送装置，其特征在于，所述减震机构包括弹性支撑部，所述弹性支撑部包括支撑杆和支撑臂，所述支撑杆的一端固定在传送载台上，所述支撑杆的另一端与所述支撑臂的中点活动连接；所述支撑臂的两端分别连接一个所述导轮，所述导轮能在所述驱动件的驱动下绕其轴自转；所述弹性支撑部还包括弹性件，所述弹性件沿其弹力方向的一端固定在传送载台上，所述弹性件沿其弹力方向的另一端与所述支撑臂连接。


3.根据权利要求2所述的传送装置，其特征在于，所述弹性件为两个，所述两个所述弹性件以所述支撑杆为对称轴对称设置。


4.根据权利要求3所述的传送装置，其特征在于，所述弹性件的弹力方向垂直于所述待传送件...

【专利技术属性】
技术研发人员：周兴宝，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11