门开启器和一同提供的衬底处理设备制造技术

本公开涉及一种打开含有衬底的匣盒的门的门开启器，所述开启器具有第一壁和第二壁，所述第一壁与所述匣盒接合并且具有第一开口以转移所述匣盒的所述门和衬底，所述第二壁与所述第一壁相对并且具有第二开口以转移衬底。所述门开启器可具有封闭装置，所述封闭装置抓住所述匣盒的所述门并具有第一侧和第二侧且可在形成于所述第一壁与第二壁之间的室中移动。所述开启器可具有第一致动器以使所述封闭装置在第一方向上从第一闭合位置移动到第二闭合位置以及从所述第二闭合位置移动到所述第一闭合位置与第二闭合位置之间的输送位置，在所述第一闭合位置，所述第一侧抵靠着所述第一壁闭合，在所述第二闭合位置，所述第二侧抵靠着所述第二壁闭合。

【技术实现步骤摘要】
门开启器和一同提供的衬底处理设备
本公开大体上涉及一种门开启器，其被构造和布置成打开含有衬底的匣盒的门。更具体地说，本公开涉及一种门开启器，所述门开启器包括：第一壁，其配置成与所述匣盒接合并且具有第一开口以转移所述匣盒的门和衬底；以及第二壁，其与所述第一壁相对并且具有第二开口以转移衬底。封闭装置可配置成抓住所述匣盒的门并且可在形成于所述第一壁与第二壁之间的室中移动。可将所述门开启器提供到衬底处理设备。
技术介绍
为了输送衬底，可使用安装有门的匣盒，使得门可移除。相对于匣盒的其它部分，可在较大或较小程度上为所述门提供气密密封件。如果衬底必须在炉等衬底处理设备中进行处理，则可将衬底从匣盒移出并放置于衬底架中，接着可将所述衬底架连同衬底一起引入反应器中。在处置之后，可将衬底连同支架一起从反应器移出，并且可将衬底转移回到匣盒并进行输送以进行进一步处置。炉等衬底处理设备可在惰性氮气氛围等受控气氛中运作。可能有利的是，在所述衬底进入已布置了反应器的空间之前将衬底带入此类受控气氛中，以防受控气氛在所述空间中稀释。在第6,481,945号美国专本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种门开启器，其被构造和布置成打开含有衬底的匣盒的门，所述开启器包括：/n第一壁，其配置成与所述匣盒接合并且具有第一开口以转移所述匣盒的所述门和衬底；/n第二壁，其与所述第一壁相对并且具有第二开口以转移衬底；以及/n封闭装置，其配置成抓住所述匣盒的所述门并且能在形成于所述第一壁与第二壁之间的室中移动，其中所述开启器具有第一致动器，所述第一致动器被构造和布置成使所述封闭装置带着所述门在第一方向上：/n从第一闭合位置移动到第二闭合位置，在所述第一闭合位置，所述封闭装置的第一侧大体上抵靠着所述第一壁闭合，在所述第二闭合位置，所述封闭装置的第二侧大体上抵靠着所述第二壁闭合；以及/n从所述第二闭合位...

【技术特征摘要】
20190328 US 62/825,2731.一种门开启器，其被构造和布置成打开含有衬底的匣盒的门，所述开启器包括：
第一壁，其配置成与所述匣盒接合并且具有第一开口以转移所述匣盒的所述门和衬底；
第二壁，其与所述第一壁相对并且具有第二开口以转移衬底；以及
封闭装置，其配置成抓住所述匣盒的所述门并且能在形成于所述第一壁与第二壁之间的室中移动，其中所述开启器具有第一致动器，所述第一致动器被构造和布置成使所述封闭装置带着所述门在第一方向上：
从第一闭合位置移动到第二闭合位置，在所述第一闭合位置，所述封闭装置的第一侧大体上抵靠着所述第一壁闭合，在所述第二闭合位置，所述封闭装置的第二侧大体上抵靠着所述第二壁闭合；以及
从所述第二闭合位置移动到所述第一闭合位置与第二闭合位置之间的输送位置。


2.根据权利要求1所述的门开启器，其中所述第一和第二开口彼此直接相对。


3.根据权利要求1所述的门开启器，其中所述第一和第二开口彼此对齐。


4.根据权利要求1所述的门开启器，其中所述第一和第二侧与所述封闭装置相对。


5.根据权利要求1所述的门开启器，其中所述封闭装置是刚性结构，其中所述第一和第二侧刚性地连接。


6.根据权利要求1所述的门开启器，其中所述门开启器被构造和布置成在所述第一壁与第二壁之间有空间，以使所述封闭装置带着由其抓住的所述匣盒的所述门在所述第一壁与第二壁之间在大体上垂直于所述第一方向的第二方向上移动。


7.根据权利要求1所述的门开启器，其中所述开启器包括被构造和布置成使所述封闭装置从所述输送位置移动到所述室中的存储位置的第二致动器。


8.根据权利要求7所述的门开启器，其中所述第二致动器使所述封闭装置在大体上垂直于所述第一方向的第二方向上移动通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：J弗卢伊特，
申请(专利权)人：ASMIP私人控股有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL