下载门开启器和一同提供的衬底处理设备的技术资料

文档序号:25892724

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本公开涉及一种打开含有衬底的匣盒的门的门开启器,所述开启器具有第一壁和第二壁,所述第一壁与所述匣盒接合并且具有第一开口以转移所述匣盒的所述门和衬底,所述第二壁与所述第一壁相对并且具有第二开口以转移衬底。所述门开启器可具有封闭装置,所述封闭装...
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