荧光X射线分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术的课题在于提供一种荧光Ｘ射线分析装置，该荧光Ｘ射线分析装置对处于惰性气体气氛中的试样进行分析，分光室不由惰性气体置换即可，同时不与试样室连通，并且可获得足够的强度的２次Ｘ射线，另外，隔壁的寿命延长。该装置包括接纳有试样（４）的试样室（１）；照射室（２），该照射室（２）接纳有对试样（４）照射１次Ｘ射线（６）的Ｘ射线源（７），该照射室（２）与上述试样室（１）连通；分光室（３），该分光室（３）接纳有对从试样（４）产生的２次Ｘ射线（８）分光而对其检测的检测机构（９）；隔壁（１０），该隔壁（１０）按照将上述照射室（２）和分光室（３）分隔的方式设置，使上述２次Ｘ射线（８）通过；以惰性气体对上述试样室（１）和照射室（２）进行置换，并且对上述分光室（３）进行真空排气。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对处于惰性气体气氛中的试样进行分析的荧光X射线分析装置。
技术介绍
在过去，有下述的荧光X射线分析装置，其包括接纳试样的试样室；照射室(也称为“管球室”)，该照射室接纳有对试样照射1次X射线的X射线源；分光室，该分光室对从试样产生的2次X射线分光而对其检测的检测机构。在通过这样的荧光X射线分析装置对液体试样、粉末试样进行分析的场合，按照试样不飞散的方式，并且按照X射线的衰减较少的方式，以氦气等的惰性气体对连通的试样室、照射室和分光室的全部进行置换，但是具有下述的问题。第1，由于应以惰性气体置换的容量较大，故置换需要花费较长时间，并且惰性气体的消耗量多。第2，在惰性气体为氦气的场合，氦气侵入分光室内的闪烁计数器的光电倍增管，S/N比、分辨率变差。第3，如果PR气体从分光室内的气流型比例计数管泄漏，混入到惰性气体气氛中，则X射线的衰减增加，无法进行稳定的分析。第4，在具有惰性气体的泄漏的场合，必须对穿过各室的各种驱动轴的密封部进行全部检查。第5，如果万一在试样室中产生液体试样、粉末试样的飞散事故，则具有污染扩展到分光室，恢复原样需要花费时间的危险。相对该情况，具有下述的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种荧光Ｘ射线分析装置，该荧光Ｘ射线分析装置包括：接纳有试样的试样室；照射室，该照射室接纳有对试样照射１次Ｘ射线的Ｘ射线源，该照射室与上述试样室连通；分光室，该分光室接纳有对从试样产生的２次Ｘ射线分光而对其检测的检测 机构；隔壁，该隔壁按照将上述照射室和分光室分隔的方式设置，使上述２次Ｘ射线通过；以惰性气体对上述试样室和照射室进行置换，并且对上述分光室进行真空排气。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：住居弘咨，青柳光一，
申请(专利权)人：株式会社理学，
类型：发明
国别省市：JP[日本]