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聚电解质/本征导电聚合物复合湿敏元件及其制作方法技术

技术编号:2580129 阅读:216 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种聚电解质/本征导电聚合物复合湿敏元件及其制作方法。它是以微晶玻璃为基片,其上有多对叉指金电极,在微晶玻璃片基体和叉指金电极表面涂覆有交联季胺化的聚4-乙烯基吡啶和聚吡咯复合湿敏薄膜。本发明专利技术制备工艺简单,成本低,尤其适用于批量生产。所制备的湿敏元件在宽的湿度范围,特别是在中低湿(0~60%RH)环境下均具有阻抗值适中,灵敏度高,线性度好,响应快,回复性佳,稳定性强,在室温下检测等特点,可广泛应用于工农业生产过程,仓储,大气环境监测时对于环境湿度精确测量与控制。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
精确测量湿度在工农业生产和环境监测中具有重要作用,这为湿度传感器的发展提供了广阔的空间。高分子材料湿度传感器近年来发展十分迅速,相比传统的陶瓷材料湿度传感器,它具有响应特性好,测量范围宽,稳定性好,可室温检测,易于集成化,小型化批量生产,价格低廉等特点。其中高分子电阻型湿度传感器,它能与目前集成电路技术很好相容,易于集成系统中实现湿度测量和控制,现在已经成为湿度传感器发展的重要方向之一。然而,传统聚合物湿敏材料制备的高分子电阻型湿度传感器,依靠纯离子导电,低湿时离子迁移率低,电阻值过大而难以测定,严重阻碍了其发展。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种在中低湿(0~60%RH)环境下具有阻抗值适中,灵敏度高,线性度好,响应快,回复性佳,稳定性强,可室温检测的。本专利技术的聚电解质/本征导电聚合物复合湿敏元件具有微晶玻璃基体,在微晶玻璃基体表面光刻和蒸发有多对叉指金电极,在叉指金电极上连接有引线,在微晶玻璃片基体和叉指金电极表面涂覆有湿敏薄膜,湿敏薄膜为交联季胺化的聚4-乙烯基吡啶和聚吡咯复合膜。聚电解质/本征导电聚合物复合湿敏元件的制作方法,包括以本文档来自技高网...

【技术保护点】
聚电解质/本征导电聚合物复合湿敏元件,其特征在于:它具有微晶玻璃基体(1),在微晶玻璃基体表面光刻和蒸发有多对叉指金电极(2),在叉指金电极上连接有引线(4),在微晶玻璃片基体和叉指金电极表面涂覆有湿敏薄膜(3),湿敏薄膜为交联季胺化的聚4-乙烯基吡啶和聚吡咯复合膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李扬洪利杰杨慕杰
申请(专利权)人:浙江大学
类型:发明
国别省市:86[中国|杭州]

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