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提高金属氧化物半导体材料气敏性能的方法技术

技术编号:2578718 阅读:168 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种用于提高氧化物半导体材料气敏性能的新方法,其特征是采用贵金属量子点作为催化剂,对氧化物半导体材料进行表面修饰,从而达到提高气体传感器灵敏度和选择性的目的。本发明专利技术制作的气体传感器可用于低浓度气体的检测。目前半导体型气体传感器的检测下限为一般为几个ppm左右,很难检测到ppb量级,这样的敏感性能不适用于环境或工业安全等领域的监测。而采用本发明专利技术方法制作的气体传感器完全可以满足这方面的要求。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种提高金属氧化物半导体材料气敏性能的方法,其特征在于该方法的具体步骤为:将粒径为3-10nm的贵金属量子点在一定的介质中超声分散10-50min后,均匀滴加到金属氧化物半导体材料中,而后烘干。其中贵金属量子点的用量为金属氧化物半导体材料质量的0.1%-1%。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张源向群徐甲强许鹏程
申请(专利权)人:上海大学
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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