【技术实现步骤摘要】
氦质谱检漏仪接收器
本专利技术涉及一种氦质谱检漏仪的接收器。技术背景氦质谱检漏仪的主要指标灵敏度,也称最小可检测漏率。其测量方法是用一氦气标准漏孔Qo,接在检漏仪上产生的信号强度S,假设测量系统的噪声N, 那么仪器的灵敏度Q-QoXN/S。 S/N称为信噪比。同样的漏孔产生的信号越强, 灵敏度就越髙,而测量系统的噪声越大,灵敏度就越低。为此,提高仪器灵敏 度的方法就是增大信号强度和降低噪声。检漏仪中除了要检测的氦离子以外,通常有真空中残余气体碰撞产生的杂 散离子或电子进入接收器,为了减少干扰,在入口处装有一抑制电极,并加上 200-400V电压。因为接收极连接的微电流放大器的反馈电阻是IOUQ,阻抗很 高,抑制极和引线上的交流纹波会通过分布电容进入接收电极,形成测量噪声。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可以减少测量噪声的氦质谱检漏仪接收器。 为实现上述专利技术目的,本技术采用了如下技术方案 一种氦质谱检漏仪的接收器,检漏仪接收器包括抑制电极(1)及引线(6)、 接收极(3),其中抑制电极(1)及引线(6)与接收极(3)之间由屏蔽极2隔离。 接收 ...
【技术保护点】
一种氦质谱检漏仪的接收器,检漏仪接收器包括抑制电极(1)及引线(6)、接收极(3),其中抑制电极(1)及引线(6)与接收极(3)之间由屏蔽极(2)隔离。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:黄庆文,
申请(专利权)人:北京中科科仪技术发展有限责任公司,
类型:实用新型
国别省市:11[中国|北京]
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