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玻璃衬底检查装置制造方法及图纸

技术编号:2566587 阅读:132 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种玻璃衬底检查装置,可自动替换在宏观及微观检查中的玻璃衬底支撑用玻璃棒,减少工序时间,防止污染检查环境,提高检查效率。其包括:平台,由平台支撑部支撑;主工作台支撑部,配置在平台的上面;主工作台,配置在主工作台支撑部上,安放玻璃衬底;升降工作台,根据在上升及下降模式中选择的模式,至少部分在主工作台内部及平台的上部上下移动,当处于上升模式时,与玻璃衬底接触,使玻璃衬底从主工作台上分开及隔离;升降驱动装置,设置在平台的一侧,使升降工作台上下移动;升降工作台支撑部,设置在平台的上表面,在上升模式下,与升降工作台下部的至少一侧接触,支撑升降工作台,而在下降模式下,从升降工作台的下部分开及隔离。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种使用于显示装置的玻璃衬底的检查装置,具体而言,本专利技术涉及一种能够对使用于显示装置的玻璃衬底同时进行宏观检查及微观检查的玻璃衬底检查装置
技术介绍
CRT(阴极射线管)、LCD(液晶显示器)、PDP(等离子体显示板)等作为图像界面装置,用于在视觉上提供如TV(电视)或监视器之类的显示信息,虽然将图像信息显示在各自装置上的原理互不相同,但它们都需要使用作为实现显示的核心部件之一的玻璃衬底。作为一列举例,在制造TFT-LCD(薄膜晶体管-液晶显示器)的显示装置的工序中,进行针对使用于显示装置的玻璃衬底的工序。使用于显示装置的玻璃衬底需要经过将其从大的玻璃衬底上切断、再对切断后的玻璃衬底进行涂覆铬、涂覆黑底、涂覆ITO等多道工序。在这些工序前后,存在玻璃衬底由于其表面的异物等而导致质量不好的可能性。由于这种玻璃衬底上的异物等会给TFT-LCD的显示装置的性能带来致命的影响,所以必须进行彻底的检查。因此,为了检查出由这种玻璃衬底上的异物等造成的损坏和缺陷,必须在制造各种显示装置之前,通过玻璃衬底检查装置进行玻璃衬底的检查工序。玻璃衬底检查装置一般分为用肉眼搜寻异物等的宏观检查装置和利用显微镜精密地搜寻不良状态的微观检查装置。虽然根据检查项目存在必须选择宏观检查和微观检查的情况,但是一般均采用首先用操作者的肉眼对整个玻璃衬底检查异物粘附等不良状态,根据宏观检查结果,仅将需要精密检查的部分放大到大约25倍到100倍,再进行微观检查。在同时进行宏观检查和微观检查的宏观/微观检查装置中,对于玻璃衬底尺寸偏小的现有情况而言,由于可以将玻璃衬底仅仅保持及固定在设置于框架边缘的真空部上,因而辅助使用玻璃棒。但是,对于第7代(例如1870×2200)玻璃衬底而言,由于不可能将玻璃衬底仅仅保持及固定在设置于框架边缘的真空部上,因而必须使用由支撑销构成的微观检查用玻璃棒(下面均称为“微观玻璃棒”)或由真空部构成的宏观检查用玻璃棒(下面均称为“宏观玻璃棒”)。但是,在现有宏观/微观检查装置中,如果对大型玻璃衬底同时进行宏观检查以及微观检查,必须根据检查项目选择设置宏观玻璃棒和微观玻璃棒。这种玻璃棒的替换操作等可能会导致工序的效率滞后,恶化检查作业的环境。甚至,需要大量的时间花费在玻璃棒的替换操作上。因此,在现有的宏观/微观检查装置中,联系各种情况来看的话,存在玻璃衬底检查的效率极其滞后的问题。
技术实现思路
本专利技术为解决上述现有宏观/微观检查装置的问题点,其目的在于提供一种玻璃衬底检查装置,当使用一个检查装置同时进行大型玻璃衬底的宏观检查及微观检查时,通过自动地替换在宏观检查及微观检查中所需的玻璃衬底保持用玻璃棒,从而减少了重新设置玻璃棒所带来的工序时间的浪费,防止了检查操作中的环境恶化,提高了玻璃衬底检查的效率。为达到上述目的,本专利技术包括平台,其通过平台支撑部来支撑;主工作台支撑部,其配置在所述平台上面;主工作台,其配置在所述主工作台支撑部上,用于安放玻璃衬底;升降工作台,其根据在上升模式及下降模式中所选择的模式,至少部分在所述主工作台内部及所述平台的上部上下移动,当处于所述上升模式时,与所述玻璃衬底接触,使所述玻璃衬底从所述主工作台分离及隔开;升降驱动装置,其设置在所述平台的一侧,用于使所述升降工作台上下移动;升降工作台支撑部,其设置在所述平台的上表面,当在所述上升模式下,所述升降工作台上升到规定高度时,与所述升降工作台的下部的至少一侧接触,从而支撑所述升降工作台,而当在所述下降模式下,所述升降工作台上升到规定高度时,从所述升降工作台的下部分离及隔开。根据上述的玻璃衬底检查装置,能够以一个检查装置同时对玻璃衬底进行宏观检查及微观检查,且简化了玻璃衬底的宏观检查及微观检查装置的结构。另外,本专利技术为达到上述目的,还可设置成下述结构,其包括平台,其通过平台支撑部来支撑;主工作台,用于安放玻璃衬底;框架,用于支撑所述主工作台的外轮廓部;滑动模块,其配置在所述框架的相对应的两侧边上,沿着所述框架的两侧边的长度方向相互平行地移动,以使所述主工作台作直线运动;滑动模块驱动部,其产生及传递用于使所述主工作台作直线运动的驱动力;至少一个拉伸装置,其一端可转动地连接于所述框架的外侧,同时另一端可转动地连接在所述平台支撑部上;转轴,其一面连接于所述平台的外轮廓部的一侧,而另一面连接于所述框架的外轮廓的一侧。根据上述的玻璃衬底检查装置,能够以一个检查装置同时对玻璃衬底进行宏观检查及微观检查,且简化了玻璃衬底的宏观检查及微观检查装置的结构。附图说明图1a是根据本专利技术一实施例的玻璃衬底检查装置的平面图;图1b是根据本专利技术一实施例的玻璃衬底检查装置的主视图;图1c是根据本专利技术一实施例的玻璃衬底检查装置的侧视图;图2是根据本专利技术一实施例的主工作台的平面图;图3a是针对根据本专利技术一实施例的玻璃衬底检查装置的滑动工作台示意平面图;图3b是针对图3a中的附图标记220示意局部放大图;图3c是针对根据本专利技术一实施例的玻璃衬底检查装置的滑动工作台及主工作台支撑部转轴的示意主视图;图3d是针对图3c的附图标记220的示意局部放大图;图4a是根据本专利技术一实施例的玻璃衬底检查装置的升降工作台的示意主视图;图4b是针对图4a中的升降工作台示意侧视图;图4c是针对图4a中的升降工作台示意侧视图;图5是表示根据本专利技术一实施例的玻璃衬底检查装置的滑动工作台及拉伸装置工作状态的示意侧视图;图6a是表示根据本专利技术一实施例的玻璃衬底检查装置的升降工作台工作状态的示意主视图; 图6b是表示根据本专利技术一实施例的玻璃衬底检查装置的升降工作台工作状态的示意主视图;图6c是表示根据本专利技术一实施例的玻璃衬底检查装置的升降工作台工作状态的示意主视图;图6d是表示根据本专利技术一实施例的玻璃衬底检查装置的升降工作台工作状态的示意主视图;图6e是表示根据本专利技术一实施例的玻璃衬底检查装置的升降工作台工作状态的示意主视图;具体实施方式下面参照附图,对本专利技术实施例进行详细说明。在图1a至图1c中示出了根据本专利技术一实施例的玻璃衬底检查装置,即宏观及微观玻璃衬底检查装置。图1a是玻璃衬底检查装置的平面图,图1b是玻璃衬底检查装置的主视图,图1c是玻璃衬底检查装置的侧视图。为更清楚地对这些附图进行说明,部分构成要素采用阴影及虚线处理。根据本专利技术一实施例的玻璃衬底检查装置100包括平台110、主工作台130、主工作台支撑部200、升降工作台300、升降驱动装置500、和升降工作台支撑部400。平台110构成整个玻璃衬底检查装置的支撑结构。为使在检查过程中由于发生的热膨胀以及/或者振动导致的检查错误降至最低,优选平台110由热膨胀下体积变化率小,且受振动影响小的重的自然石头这类的质量体构成。虽然平台110由平台支撑部120之类的支撑构件支撑,但平台的支撑部可以采用多种形式,例如也可以平台本身就起到支撑部的作用等。通过机器人手臂之类的输送装置,将输送根据本专利技术的玻璃衬底检查装置中的玻璃衬底(未图示)安放到主工作台130上,主工作台130具有四方形的主工作台框架131。虽然在此示出的主工作台框架131为四方形,但主工作台框架131的形状并不限定于此。主工作台130安放及保持在主工作台支撑部200的一本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种玻璃衬底检查装置,其特征在于包括:平台,其通过平台支撑部来支撑;主工作台支撑部,其配置在所述平台的上面;主工作台,其配置在所述主工作台支撑部上,用于安放玻璃衬底;升降工作台,根据在上升模式及下降模式中选择 的模式,其中至少一部分在所述主工作台内部和所述平台的上部上下移动,当处于所述上升模式时,其与所述玻璃衬底接触,使所述玻璃衬底从所述主工作台上分开及隔离;升降驱动装置,其设置在所述平台的一侧,用于使所述升降工作台上下移动;升降 工作台支撑部,其设置在所述平台的上面,当在所述上升模式下所述升降工作台上升到规定高度时,其与所述升降工作台下部的至少一侧接触而支撑所述升降工作台,而当在所述下降模式下所述升降工作台上升到规定高度时,其从所述升降工作台的下部分开及隔离。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:朴鲁善李相熏金铉守
申请(专利权)人:DET株式会社
类型:发明
国别省市:KR[韩国]

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