球面反射镜的双点源干涉检测方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种球面反射镜的双点源干涉检测方法及其装置，所述检测方法包括获取平行光，选出双点源，光束经平面反射返回，光束经球面反射返回，返回光束输出，球面反射镜误差检测的步骤，所述方法使用的装置包括光源、光束处理装置、光栅、凸透镜、透反平面镜、空间滤波器、小平面反射镜、球面反射镜安装调节平台、像屏和摄像机，所述器件安装于器件夹持调节装置上。本发明专利技术精度高，对振动、温度、气流敏感小，稳定性高，易于操作并能推广应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学装置，具体是一种球面反射镜的双点源干涉检测方法；本专利技术还涉及实现所述方法的一种球面反射镜的双点源干涉检测装置。
技术介绍
球面反射镜是常用的光学器件，在天文学、光学和仪器仪表等方面有广泛的应用。球面反射镜在应用前需要对其进行加工误差检测和质量评价，目前，公知的干涉检测方法有迈克尔逊(Michelson)干涉仪、马-曾(Mach-Zehnder)干涉仪和泰曼-格林(Twyman-Green)干涉仪以及斐索(Fizeau)干涉仪等。迈克尔逊(Michelson)干涉仪、马-曾(Mach-Zehnder)干涉仪和泰曼-格林(Twyman-Green)干涉仪需要采用两个光学臂，其对振动、温度、气流等较为敏感，稳定性不好，且光路复杂和难于调节及操作；斐索(Fizeau)干涉仪需要采用高质量的标准球面透镜或标准的平行玻璃平板，推广应用受到限制。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种球面反射镜的双点源干涉检测方法，克服现有技术中的不足，实现对中小型凹球面反射镜的检测。本专利技术的另一目的在于提供实现所述方法的一种球面反射镜的双点源干涉检测装置。本专利技术的一种球面反射镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种球面反射镜的双点源干涉检测方法，其特征在于包括如下步骤：（１）获取平行光：通过光源发射一束单色光，使其经过光束平行处理装置形成一束平行光；（２）选出双点源：将所获取的平行光通过光栅和凸透镜在其焦平面上形成一排极大的光点， 用空间滤波器选出其中两个极大光点，即为双点源；（３）光束经平面反射返回：将小平面反射镜置于上述凸透镜的焦平面位置，使上述双点源中的一个光点发出的光束经小平面反射镜反射后按原光路返回；（４）光束经球面反射返回：将待测球面反射镜 置于所述小平面反射镜之后，与其距离等于待测球面反射镜的曲率半径，使得上述双点源中的另一光...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄佐华，
申请(专利权)人：华南师范大学，
类型：发明
国别省市：81[中国|广州]