下载球面反射镜的双点源干涉检测方法及装置的技术资料

文档序号:2566415

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本发明涉及一种球面反射镜的双点源干涉检测方法及其装置,所述检测方法包括获取平行光,选出双点源,光束经平面反射返回,光束经球面反射返回,返回光束输出,球面反射镜误差检测的步骤,所述方法使用的装置包括光源、光束处理装置、光栅、凸透镜、透反平面镜...
该专利属于华南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南师范大学授权不得商用。

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