一种带有伸缩滑轨的运输有机蒸镀坩埚台车制造技术

技术编号:25646911 阅读:26 留言:0更新日期:2020-09-15 21:38
本实用新型专利技术涉及物料搬运设备的技术领域,尤其为一种带有伸缩滑轨的运输有机蒸镀坩埚台车,包括台车、装配槽、两个第一滑轨、两个固定块、两个第二滑轨、两个固定杆、两个固定球体一和两个夹持机构,所述装配槽开设在所述台车上,两个第一滑轨固定安装在装配槽内,两个固定块分别固定安装在对应的第一滑轨上,两个第二滑轨分别滑动安装在对应的所述第一滑轨上,两个所述固定杆固定安装在所述第二滑轨上,两个固定球体一分别固定安装在固定杆的一端。本实用新型专利技术便于对有机蒸镀坩埚放置抽屉进行固定,通过增加橡胶减振垫,可以起到保护有机蒸镀坩埚放置抽屉及放置在抽屉内的有机蒸镀坩埚的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种带有伸缩滑轨的运输有机蒸镀坩埚台车
本技术涉及物料搬运设备的
,尤其涉及一种带有伸缩滑轨的运输有机蒸镀坩埚台车。
技术介绍
在半导体器件或装置的制备过程中,示例性的,在有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode,OLED)显示面板的制作过程中,通常会采用蒸镀工艺来形成膜层。在蒸镀工艺中,可将待蒸镀材料放在蒸镀坩埚内,然后对蒸镀坩埚加热,使待蒸镀材料受热气化,气化的待蒸镀成膜材料在待蒸镀衬底基板上沉积,从而在待蒸镀衬底基板上形成膜层。现有搬运蒸镀坩埚的工具中,由于蒸镀坩埚较重且贵重,需要专用的承载平台或承载台车,现有的承载平台或承载台车缺少方便坩埚放入和取出的便捷承载机构或滑轨平台。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种带有伸缩滑轨的运输有机蒸镀坩埚台车。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种带有伸缩滑轨的运输有机蒸镀坩埚台车,包括台车、装配槽、两个第一滑轨、两个固定块、两个第二滑轨、两个固定杆、两个固定球体一和两个夹持机构,所述装配槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有伸缩滑轨的运输有机蒸镀坩埚台车,其特征在于:包括台车(1)、装配槽(2)、两个第一滑轨(3)、两个固定块(4)、两个第二滑轨(5)、两个固定杆(6)、两个固定球体一(7)和两个夹持机构(15),所述装配槽(2)开设在所述台车(1)上,两个所述第一滑轨(3)固定安装在所述装配槽(2)内,两个所述固定块(4)分别固定安装在对应的所述第一滑轨(3)上,两个所述第二滑轨(5)分别滑动安装在对应的所述第一滑轨(3)上,且两个所述第二滑轨(5)分别与对应的所述固定块(4)相适配,两个所述固定杆(6)固定安装在所述第二滑轨(5)上,两个所述固定球体一(7)分别固定安装在所述固定杆(6)的一端,两...

【技术特征摘要】
1.一种带有伸缩滑轨的运输有机蒸镀坩埚台车,其特征在于:包括台车(1)、装配槽(2)、两个第一滑轨(3)、两个固定块(4)、两个第二滑轨(5)、两个固定杆(6)、两个固定球体一(7)和两个夹持机构(15),所述装配槽(2)开设在所述台车(1)上,两个所述第一滑轨(3)固定安装在所述装配槽(2)内,两个所述固定块(4)分别固定安装在对应的所述第一滑轨(3)上,两个所述第二滑轨(5)分别滑动安装在对应的所述第一滑轨(3)上,且两个所述第二滑轨(5)分别与对应的所述固定块(4)相适配,两个所述固定杆(6)固定安装在所述第二滑轨(5)上,两个所述固定球体一(7)分别固定安装在所述固定杆(6)的一端,两个所述夹持机构(15)分别安装在对应的所述固定块(4)上;
所述夹持机构(15)包括开设在对应的所述固定块(4)的顶部的凹槽(8),所述固定杆(6)与固定球体一(7)均与对应的所述凹槽(8)相适配,所述凹槽(8)的两侧均开设有安装槽(9),所述安装槽(9)的内壁上固定安装有安装杆(10),所述安装杆(10)上滑动安装有滑动杆(11),所述滑动杆(11)的一端固定安装有固定球体二(12),所述安装杆(10)上套设有弹簧(13),所述弹簧(13)的一端与对应的所述安装槽(9)的内壁固定连接,所述弹簧(13...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙玉良
申请(专利权)人:东莞市能特自动化科技有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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