薄膜电容器制造技术

本发明专利技术的薄膜电容器是具备第1电介质膜、第2电介质膜、第1内部电极、第2内部电极、第1外部电极、以及第2外部电极的薄膜电容器，其中，上述第1内部电极具备：第1连接部，与上述第1外部电极连接；第1主电极部，与上述第1连接部连结，比上述第1连接部薄；以及第1薄膜部，从上述第1主电极部朝向上述第2外部电极延伸，比上述第1主电极部薄，上述第2内部电极具备：第2连接部，与上述第2外部电极连接；以及第2主电极部，与上述第2连接部连结，比上述第2连接部薄，上述第1主电极部隔着上述第1电介质膜与上述第2主电极部对置，且不与上述第2连接部对置，上述第1薄膜部隔着上述第1电介质膜与上述第2连接部对置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】薄膜电容器
本专利技术涉及薄膜电容器。
技术介绍
作为电容器的一种，有将在表面设置了成为内部电极的金属蒸镀膜的电介质膜进行卷绕或层叠而成的薄膜电容器。在薄膜电容器中，为了提高自恢复性(伴随着绝缘缺陷部的放电，金属蒸镀膜飞散而恢复绝缘性的性质)，像在专利文献1以及专利文献2记载的那样，广泛使用如下的所谓的边缘加厚(heavyedge)构造，即，一方面将形成电容的部分的内部电极(以下，也称为主电极部)减薄，另一方面将与设置在两端面的外部电极连接的部分的内部电极(以下，也称为连接部)加厚。此外，还提出了如下的结构，即，像在专利文献1以及专利文献2记载的那样，在内部电极内设置没有金属的狭缝而划分为多个分割电极，并通过在狭缝之间形成的熔断器将分割电极并联连接。这用于形成如下的自保护功能，即，通过自恢复时的短路电流使绝缘缺陷部周围的熔断器熔断而将绝缘缺陷部从电路切断。作为构成薄膜电容器的电介质膜的材料，以往一直使用聚丙烯(PP)，但是像在专利文献3记载的那样，还已知耐热性高的热固化性树脂。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-219094号公报专利文献2：日本特开2004-134561号公报专利文献3：国际公开第2013/069485号
技术实现思路
专利技术要解决的课题在专利文献1的图1记载了如下的构造，即，构成一个内部电极的主电极部的端部(主电极部和绝缘余量的边界部)隔着电介质膜与构成另一个内部电极的连接部对置。但是，在构成一个内部电极的主电极部的端部和构成另一个内部电极的连接部重叠的部位，由于电场集中而经常产生放电，有可能引起绝缘击穿。特别是，在将像在专利文献3记载的那样的热固化树脂用作电介质膜的材料的情况下，与以往的使用PP膜的情况相比，自恢复性变差，因此容易引起绝缘击穿。因此，可考虑如下的构造，即，像在专利文献2的图3记载的那样，使连接部的宽度变窄，不使构成一个内部电极的主电极部的端部隔着电介质膜与构成另一个内部电极的连接部对置。但是，如果是这样的构造，则因为连接部的宽度窄，所以与外部电极的连接变得不充分，有可能损害耐电流性能。本专利技术是为了解决上述的问题而完成的，其目的在于，提供一种自恢复性高且抑制了绝缘击穿的产生的薄膜电容器。用于解决课题的技术方案在第1方式中，本专利技术的薄膜电容器具备：第1电介质膜，具有第1面以及与上述第1面相反侧的第2面；第2电介质膜，具有第1面以及与上述第1面相反侧的第2面，并层叠在上述第1电介质膜；第1内部电极，设置在上述第1电介质膜的上述第1面；第2内部电极，位于上述第1电介质膜与上述第2电介质膜之间，并设置在上述第2电介质膜的上述第1面或上述第1电介质膜的上述第2面；第1外部电极，设置在层叠了上述第1电介质膜以及上述第2电介质膜的层叠体的一个端面，与上述第1内部电极连接，并且与上述第2内部电极分离；以及第2外部电极，设置在上述层叠体的另一个端面，与上述第2内部电极连接，并且与上述第1内部电极分离，在上述薄膜电容器中，上述第1内部电极具备：第1连接部，与上述第1外部电极连接；第1主电极部，与上述第1连接部连结，比上述第1连接部薄；以及第1薄膜部，从上述第1主电极部朝向上述第2外部电极延伸，比上述第1主电极部薄，上述第2内部电极具备：第2连接部，与上述第2外部电极连接；以及第2主电极部，与上述第2连接部连结，比上述第2连接部薄，上述第1主电极部隔着上述第1电介质膜与上述第2主电极部对置，且不与上述第2连接部对置，上述第1薄膜部隔着上述第1电介质膜与上述第2连接部对置。优选地，在第1方式中，上述第2内部电极还具备：第2薄膜部，从上述第2主电极部朝向上述第1外部电极延伸，比上述第2主电极部薄，上述第2主电极部不隔着上述第1电介质膜与上述第1连接部对置，上述第2薄膜部隔着上述第1电介质膜与上述第1连接部对置。优选地，上述第1薄膜部的最大厚度小于上述第1连接部的最大厚度与上述第1主电极部的最大厚度之差。优选地，上述第1薄膜部的最大厚度为7nm以下。优选地，上述第1薄膜部延伸为从上述第2主电极部至上述第2连接部对置。优选地，在从上述第1外部电极朝向上述第2外部电极的方向上，上述第1薄膜部比上述第1主电极部短，且与上述第2主电极部对置的上述第1薄膜部比与上述第2连接部对置的上述第1薄膜部长。优选地，在从上述第1外部电极朝向上述第2外部电极的方向上，与上述第2主电极部对置的上述第1薄膜部的长度为4mm以下。优选地，上述第2连接部包含导电性比上述第1薄膜部低的材料。优选地，上述第2内部电极设置在上述第2电介质膜的上述第1面，上述第2连接部的隔着上述第1电介质膜与上述第1薄膜部对置的一侧包含导电性比与上述第2电介质膜对置的一侧低的材料。优选地，上述第2连接部包含以锌为主成分的材料，上述第1薄膜部包含以铝为主成分的材料。优选地，上述第1电介质膜包含固化性树脂作为主成分，上述第2电介质膜包含固化性树脂作为主成分。在第2方式中，本专利技术的薄膜电容器具备：第1电介质膜，具有第1面以及与上述第1面相反侧的第2面；第2电介质膜，具有第1面以及与上述第1面相反侧的第2面，并层叠在上述第1电介质膜；第1内部电极，设置在上述第1电介质膜的上述第1面；第2内部电极，位于上述第1电介质膜与上述第2电介质膜之间，设置在上述第2电介质膜的上述第1面或上述第1电介质膜的上述第2面；第1外部电极，设置在层叠了上述第1电介质膜以及上述第2电介质膜的层叠体的一个端面，与上述第2内部电极连接，并且与上述第1内部电极分离；以及第2外部电极，设置在上述层叠体的另一个端面，与上述第2内部电极连接，并且与上述第1内部电极分离，在所述薄膜电容器中，上述第1内部电极具备：第1主电极部；以及第1薄膜部，从上述第1主电极部朝向上述第2外部电极延伸，比上述第1主电极部薄，上述第2内部电极具备：第1连接部，与上述第1外部电极连接；第2主电极部，与上述第1连接部连结，比上述第1连接部薄；第2连接部，与上述第2外部电极连接；以及第3主电极部，从上述第2主电极部分离，并且与上述第2连接部连结，比上述第2连接部薄，上述第1主电极部隔着上述第1电介质膜与上述第2主电极部以及上述第3主电极部对置，且不与上述第2连接部对置，上述第1薄膜部隔着上述第1电介质膜与上述第2连接部对置。优选地，在第2方式中，上述第1内部电极还具备：第2薄膜部，从上述第1主电极部朝向上述第1外部电极延伸，比上述第1主电极部薄，上述第1主电极部不隔着上述第1电介质膜与上述第1连接部对置，上述第2薄膜部隔着上述第1电介质膜与上述第1连接部对置。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种自恢复性高且抑制了绝缘击穿的产生的薄膜电容器。附图说明图1是示意性地示出本专利技术的第1实施方式涉及的薄膜电容器的一个例子的剖视图。图2是图1所示的薄膜电容器中的、除第1外部电极以及第2外部电极以外的部分的放大本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜电容器，具备：/n第1电介质膜，具有第1面以及与所述第1面相反侧的第2面；/n第2电介质膜，具有第1面以及与所述第1面相反侧的第2面，并层叠在所述第1电介质膜；/n第1内部电极，设置在所述第1电介质膜的所述第1面；/n第2内部电极，位于所述第1电介质膜与所述第2电介质膜之间，并设置在所述第2电介质膜的所述第1面或所述第1电介质膜的所述第2面；/n第1外部电极，设置在层叠了所述第1电介质膜以及所述第2电介质膜的层叠体的一个端面，与所述第1内部电极连接，并且与所述第2内部电极分离；以及/n第2外部电极，设置在所述层叠体的另一个端面，与所述第2内部电极连接，并且与所述第1内部电极分离，/n在所述薄膜电容器中，/n所述第1内部电极具备：第1连接部，与所述第1外部电极连接；第1主电极部，与所述第1连接部连结，比所述第1连接部薄；以及第1薄膜部，从所述第1主电极部朝向所述第2外部电极延伸，比所述第1主电极部薄，/n所述第2内部电极具备：第2连接部，与所述第2外部电极连接；以及第2主电极部，与所述第2连接部连结，比所述第2连接部薄，/n所述第1主电极部隔着所述第1电介质膜与所述第2主电极部对置，且不与所述第2连接部对置，/n所述第1薄膜部隔着所述第1电介质膜与所述第2连接部对置。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180205 JP 2018-0182211.一种薄膜电容器，具备：
第1电介质膜，具有第1面以及与所述第1面相反侧的第2面；
第2电介质膜，具有第1面以及与所述第1面相反侧的第2面，并层叠在所述第1电介质膜；
第1内部电极，设置在所述第1电介质膜的所述第1面；
第2内部电极，位于所述第1电介质膜与所述第2电介质膜之间，并设置在所述第2电介质膜的所述第1面或所述第1电介质膜的所述第2面；
第1外部电极，设置在层叠了所述第1电介质膜以及所述第2电介质膜的层叠体的一个端面，与所述第1内部电极连接，并且与所述第2内部电极分离；以及
第2外部电极，设置在所述层叠体的另一个端面，与所述第2内部电极连接，并且与所述第1内部电极分离，
在所述薄膜电容器中，
所述第1内部电极具备：第1连接部，与所述第1外部电极连接；第1主电极部，与所述第1连接部连结，比所述第1连接部薄；以及第1薄膜部，从所述第1主电极部朝向所述第2外部电极延伸，比所述第1主电极部薄，
所述第2内部电极具备：第2连接部，与所述第2外部电极连接；以及第2主电极部，与所述第2连接部连结，比所述第2连接部薄，
所述第1主电极部隔着所述第1电介质膜与所述第2主电极部对置，且不与所述第2连接部对置，
所述第1薄膜部隔着所述第1电介质膜与所述第2连接部对置。


2.根据权利要求1所述的薄膜电容器，其中，
所述第2内部电极还具备：第2薄膜部，从所述第2主电极部朝向所述第1外部电极延伸，比所述第2主电极部薄，
所述第2主电极部不隔着所述第1电介质膜与所述第1连接部对置，
所述第2薄膜部隔着所述第1电介质膜与所述第1连接部对置。


3.根据权利要求1或2所述的薄膜电容器，其中，
所述第1薄膜部的最大厚度小于所述第1连接部的最大厚度与所述第1主电极部的最大厚度之差。


4.根据权利要求1～3中的任一项所述的薄膜电容器，其中，
所述第1薄膜部的最大厚度为7nm以下。


5.根据权利要求1～3中的任一项所述的薄膜电容器，其中，
所述第1薄膜部延伸为从所述第2主电极部至所述第2连接部对置。


6.根据权利要求5所述的薄膜电容器，其中，
在从所述第1外部电极朝向所述第2外部电极的方向上，所述第1薄膜部比所述第1主电极部短，且与所述第2主电极部对置的所述第1薄膜部比与所述第2连接部对置的所述第1薄膜部长。


7.根据权利要求6所述的薄膜电容器，其中，
在从所述第1外部电极朝向所述第2外部...

【专利技术属性】
技术研发人员：小笹千一，阪本拓也，城岸贤，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP