【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种测量压力的传感器,特别是一种双隔离电容压力差压 传感器。
技术介绍
一般常用的电容差压/压力传感器均是采用平行板电容器原理,其结构如图3所示,包括左膜座l、右膜座2、测量膜片3、隔离膜片4及焊环5,其中, 左膜座1和右膜座2的曲面相对与夹在中间的所述测量膜片3焊接在一起,左 膜座1和右膜座2的外端面均焊接有隔离膜片4和焊环5。该传感器的加工工艺 流程如下先将绝缘体(陶瓷体或玻璃体)与金属外壳,在高温下采用陶瓷金属 化方法烧结在一起,然后对膜座的基底(绝缘体)进行研磨,加工成所需的曲面, 再在此基底上镀金属膜层,之后在此金属膜层上镀绝缘膜层,最后将按上述工 艺制成的膜座曲面相对与夹在中间的测量膜片3焊接在一起。由于隔离膜片4 和焊环5与左膜座1和右膜座2经氩弧焊焊接在一起,在焊接处产生较大的焊 接应力,焊接应力导致焊环5的变形和隔离膜片4的扭曲,必然会通过传动介 质(硅油)影响到测量膜片位移,导致测量结果不准确。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于减少隔离膜片焊接处的焊接应力,以 提高传感器测量结果的精确性。为了解决上述问题,本技术的技术方案为 一 ...
【技术保护点】
一种双隔离电容压力差压传感器,包括左膜座(1)、右膜座(2)、测量膜片(3)、隔离膜片(4)及焊环(5),其中,左膜座(1)和右膜座(2)的曲面相对与夹在中间的所述测量膜片(3)焊接在一起,所述左膜座(1)和右膜座(2)的外端面设有隔离膜片(4),该隔离膜片(4)的外侧设置有焊环(5),其特征在于:在所述左膜座(1)、右膜座(2)的外端面与所述隔离膜片(4)之间还设有垫环(6),所述焊环(5)、隔离膜片(4)与垫环(6)经滚焊固接在一起后,再经氩弧焊焊接在所述左膜座(1)和右膜座(2)的外端面上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘庆,
申请(专利权)人:重庆市伟岸测器制造有限公司,
类型:实用新型
国别省市:85[中国|重庆]
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