一种阵列压电传感装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于接触压力分布测量的传感器。阵列传感器需解决单体传感器的问题，以及集成小型化、相互干扰等问题。本实用新型专利技术的金属外壳内由上至下依次设置有橡胶封装层、压电敏感层、电极转接板和电荷读出集成电路。橡胶封装层为带有呈阵列排列突点的橡胶片。压电敏感层包括ＰＶＤＦ片，ＰＶＤＦ片的一面为整片电极，另一面为阵列电极。阵列电极与突点位置一一对应。电荷读出集成电路为带有电荷注入电极的ＣＣＤ集成电路。本实用新型专利技术利用压电原理与集成电路相结合的方法，不仅使其动态性能和抗干扰能力得到明显的改善，稳定性也得到大大加强，同时具有表面柔顺、体积小、集成度高的特点。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于传感
，尤其涉及一种用于接触压力分布测量 的传感装置。技术背景接触压力分布的测量在许多应用领域具有重要的价值。坐姿的压力分 布数据对于设计合适的座椅结构极为重要，如汽车驾驶员、航天员的座椅设计；不正确的坐卧姿势，使人体局部长期受压过大会引起褥疮、坐疮等 疾病，对于半身不遂、卧床不起的病人来说，如果不采取有效减压措施， 这种疾病将是致命的。人工触觉在机器人的感觉系统中占有非常重要的地 位，它通过接触得到环境的信息，不管是手指触觉还是足底触觉，其本质 还是压力分布的测量。因此，阵列式压力传感器在人机工程学、机器人触 觉、及医疗、体育、康复等方面均有重要的意义及应用价值。目前用压电原理制成的传感器单体，其应用已经非常普遍，如压电力 /加速度传感器、压电超声波传感器、压电机器人触觉传感器等。利用压 力一一电阻变化的原理制作的阵列压力传感器，也已经有应用方面的报 道，但存在迟滞、漂移、集成度不高等弊病。压电声表面波传感器可用于 分布压力、温度的测量，它是用表面波的传输特性变化完成测量的。 Edward, S.发表了一种用集成电路工艺制作的机器人用压电阵列触觉传感 器，以压本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列压电传感装置，包括电路板，电路板上固定设置顶部开放的金属外壳，其特征在于金属外壳内由上至下依次设置有橡胶封装层、压电敏感层、电极转接板和电荷读出集成电路；电路板上设置的电源输入端口和信号输出端口分别与电荷读出集成电路连接，电荷读出集成电路的地电极与电路板的地电极连接；所述的橡胶封装层是厚度为１～２ｍｍ的橡胶片，其外表面设置有突出的突点，突点呈阵列排列；所述的压电敏感层包括聚偏二氟乙烯片，聚偏二氟乙烯片的一面镀有整片的金属膜，形成整片电极；另一面镀有相互绝缘的呈阵列排列的金属膜，形成阵列电极；整片电极与橡胶封装层紧密配合，并通过导线与电路板的地电极连接；阵列电极与橡胶封装层阵列排列的突点...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：罗志增，席旭刚，张卫，孟明，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：实用新型
国别省市：86[中国|杭州]