【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术涉及一种性能参数一致性好的电容式力敏传感器,属物理测量仪器
电容式力敏传感器的传感电容极板间的距离难以做得很一致,因而其电容量、灵敏度等参数也有相当的不一致。这增加了装配这种传感器的仪器、仪表的成本和制作难度。本技术的目的是用多个电容式力敏传感器并联的方式,改善其总体参数的一致性,并提出一种简单廉价的电容式力敏传感器的结构设计。本技术的内容是并联电容式力敏传感器。它由多个单独的电容式力敏传感器并联而成。只要适当选配单个电容式力敏传感器的参数,就可使并联后的电容式力敏传感器的总参数趋于一致,从而给使用者很大利益。 附图说明图1是多个电容式力敏传感器叠加在一起形成的电容式力敏传感器的结构示意图。图2是一种微小极间距电容式力敏传感器的结构示意图。若干个这种传感器并联叠加,便可构成如图1所示的传感器。以下结合附图详细说明
技术实现思路
。图中1是弹性基片,2是传感电容极板,3是封接隔垫层,4是隔垫层,5是封接隔垫层上的通气孔。附在基片1上的传感电容极板2通过封接隔垫层3保持一定间距。外力作用使基片1形变从而改变两相对电容极板之间的电容量,从而实现传感功能。隔垫层4的作用是使叠加在一起的弹性基片1的所有受力面都可无阻碍地感受周围流体压力的变化。通过选配单个传感器的参数,可以使并联后的传感器的总参数趋于一致。显然,任何电容式力敏传感器都可以并联成并联电容式力敏传感器。叠加后把各电容传感器并联时,应使两相邻传感器的相邻电容极板处于同一电位,以免不必要的电容耦合。隔垫层4可以是混有玻璃珠的环氧树脂,它既可保证传感器之间的间隙,也相当牢固可靠地把相邻传感器粘 ...
【技术保护点】
一种电容式力敏传感器,其特征在于它由多个单独的电容式力敏传感器并联而成,这些单独的电容式力敏传感器的参数经过选配以使并联后的总参数趋于一致。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。